> Produkty > Keramické > Karbid kremíka (SiC) > Odolné zaostrovacie krúžky na spracovanie polovodičov

Produkty

nové produkty

Odolné zaostrovacie krúžky na spracovanie polovodičov

Odolné zaostrovacie krúžky Semicorex pre spracovanie polovodičov sú navrhnuté tak, aby odolali extrémnym prostrediam plazmových leptacích komôr používaných pri spracovaní polovodičov. Naše zaostrovacie krúžky sú vyrobené z vysoko čistého grafitu potiahnutého hustým povlakom z karbidu kremíka (SiC), ktorý je odolný voči opotrebovaniu. Povlak SiC má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického nanášania pár (CVD), aby sme zlepšili životnosť našich zaostrovacích krúžkov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Naše odolné zaostrovacie krúžky na spracovanie polovodičov sú navrhnuté tak, aby zlepšili rovnomernosť leptania okolo okraja alebo obvodu plátku, čím sa minimalizuje kontaminácia a neplánovaná údržba. Sú vysoko stabilné pre rýchle tepelné žíhanie (RTA), rýchle tepelné spracovanie (RTP) a drsné chemické čistenie.

V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych odolných zaostrovacích krúžkov na spracovanie polovodičov, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našich odolných zaostrovacích krúžkoch na spracovanie polovodičov.

Parametre odolných zaostrovacích krúžkov pre polovodičové spracovanie

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300