Semicorex RTP SiC Coating Carrier ponúka vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie spracovania polovodičových plátkov. S vysokokvalitným grafitom pokrytým SiC je tento produkt navrhnutý tak, aby odolal tomu najtvrdšiemu depozičnému prostrediu pre epitaxný rast. Vysoká tepelná vodivosť a vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla zaisťujú spoľahlivý výkon pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Čítaj viacOdoslať dopyt