Kvapalina na skladovanie tekutín

Skladovacia nádrž Semicorex Quartz Liquid Storage je účelový nádoba pre polovodičové mokré čisté aplikácie, kde manipulácia s kvapalinami vyžaduje mimoriadnu úroveň čistoty a stability materiálov. Táto nádrž sa predovšetkým používa na zhromažďovanie odpadu alebo zvyškových kvapalín z aplikácií na čistenie oblátok. Je neoceniteľný pre produktivitu procesu a kontrolu kontaminácie. Počas mokrého čistiaceho procesu si polovodičové oplachovanie doštičiek zahŕňa veľké objemy ultrapurovej vody alebo chemických činidiel, ktoré sa na konci oplachovania stávajú odpadovou kvapalinou. Okrem toho sa musí zbierať zvyšková kvapalina po opláchnutí, pretože má potenciálne stopové nečistoty alebo cenné chemické zložky, ktoré nesmú klesať na odtok. Odpadová kvapalina sa musí zbierať aj pri vykonávaní krokov poťahovania, ako sú napríklad fotorezistické aplikácie, kde sa musia zbierať ďalšie zvyšky alebo chemikálie odpadu. Kremeňová tekutina Storage Tank má teda perfektné výstupy na zabezpečenie vysokej čistoty, chemickej kompatibility a nízkych vlastností kontaminantov.

Tank je vyrobený z vysokokvalitného fúzovaného kremeňa, ktorý je veľmi odolný voči silným kyselinám, zásadám a rozpúšťadlám pravidelne používaných pri čistení a litografii polovodičov. Či už konvenčný nádoba, Quartz dáva kusovému kvapalnému materiálu najlepšiu šancu na sekundárne vystavenie kontaminantu, vylúhovanie alebo nežiaduce vystavenie iónov. Jedným z hlavných aspektov nádrže na skladovanie kvapalných kvapalín je schopnosť podporovať analytické pracovné toky v polovodičových Fabs, pretože zvyškové kvapaliny zozbierané v kremennej cieve sa môžu použiť v následných procesoch, ako je detekcia nečistôt, analýza kontaminácie a chemická recyklácia. Súčasťou vlastností kremeňa môže bezpečne obsahovať zvyškové tekutiny a umožniť vizuálne hodnotenie bez rizika interakcie vzhľadom na jej zotrvačnosť a transparentnosť, okrem svojej tepelnej stability, ktorá umožňuje mierne zrýchlenie akejkoľvek tekutiny v nádrži v nádrži na akékoľvek procesné teplotu bez rizika degradácie alebo ovplyvnenia tekutiny. Predpokladá sa však, že krumentá tekutina je navrhnutá na zber odpadu a krátkodobé skladovanie pred ich prenesením alebo ošetrením.

Každý detail riadenia kontaminácie procesu záleží, najmä keďže pokročilé uzly na výrobu zariadení sa zmenšujú a parametre čistoty sú prísnejšie. Kvalová tekutina skladovacia nádrž zaručuje, že operátori FAB sú presvedčení, že nakladanie s odpadom sa nestane zdrojom sekundárnej kontaminácie. Tým, že obsahuje zvyškové čistiace roztoky alebo prebytočné procesné kvapaliny, zabraňuje platnému uskutočňovaniu pracovných postupov proti prúdu a po prúde. Okrem toho tank podporuje ciele udržateľnosti FAB, pretože zozbierané kvapaliny sa môžu spracovať na čistenie a opätovné použitie činidla, a tak využívajú ďalší menej chemický proces a čo vedie k menšiemu environmentálnemu zaťaženiu celkovo.

Z praktického hľadiska konštrukcia nádrže na skladovanie kvapalných kvapalín umožňuje jeho ľahko začlenenie do systémov hardvéru a chemického riadenia vlhkého čistenia. Formový faktor môže byť prispôsobený existujúcim konfiguráciám nástroja. Metódy precíznej výroby zabezpečujú okrúhle rozmery a že hladký vnútorný povrch ľahko prepraví a ukladá všetky tekutiny vo vašom prostredí polovodiča. Nespodložitá kremenná štruktúra zabráni absorpcii kontaminantov a umožní čistenie nádrže, vďaka čomu je schopná opätovne použitie, na rozdiel od konvenčných plastových nádob pracujúcich v chemických kontrolovaných prostrediach pri významných objemových operáciách.

Pointa, skladovacia nádrž na kremeň kvapaliny je špeciálne navrhnutá pre dôležitosť vo všetkých aplikáciách čistiaceho prostriedku a poťahovania polovodiča. Vytvorením najlepšej možnej čistoty materiálu, chemickej odolnosti a ukladania kvapalín bez kontaminácie v polovodičovom prevádzkovom zariadení sú FABS schopné efektívne kontrolovať svoj proces s malým alebo žiadnym primátorom kontaminácie. Či už FAB používa nádrž na príjem priameho zberu odpadu, na vymáhanie činidla atď. Alebo na analýzu nečistôt, história kritických krokov v procese zostáva v pôvodnom stave bez ohrozenia prevádzky. Ak sa snažíte maximalizovať výnos, minimalizovať riziko vášho pracovného procesu na stratu stability a maximalizáciu účinnosti chemického riadenia vedľajších produktov, kremeň bez kontaminácie je jedinou voľbou, ktorá ponúka spoľahlivý výkon so všetkým vašim mokrým čistením.