Kremenná nádrž na mokré spracovanie

Quartz Tank pre mokré spracovanie, vyrobený z polovodičového kremeňa, ponúka výnimočnú odolnosť a nereaktivitu voči rôznym chemickým látkam vrátane kyseliny sírovej (H2SO4), peroxidu vodíka (H2O2) a štandardných čistých roztokov (SC1).

Jednou z primárnych aplikácií Quartz Tank na mokré spracovanie pri výrobe plátkov je čistenie plátkov. Počas rôznych výrobných krokov môžu byť doštičky maskované, aby sa vyleptali špecifické časti alebo aby sa obmedzila difúzia na určené oblasti. Po dokončení konkrétneho kroku procesu sa musí maskovací materiál dôkladne vyčistiť, aby sa plátok pripravil na ďalší krok. Kremenná nádrž na mokré spracovanie zohráva kľúčovú úlohu v tomto čistiacom procese a zabezpečuje, že doštičky sa čistia efektívne bez zanechania akýchkoľvek zvyškov alebo častíc, ktoré by mohli kontaminovať následné kroky spracovania.

Schopnosť Quartz the Tank pre mokré spracovanie odolávať agresívnym chemikáliám je prvoradá pri aplikáciách mokrého spracovania. Tieto nádrže sú navrhnuté tak, aby odolali drsným chemikáliám používaným pri leptaní a čistiacich procesoch bez toho, aby s nimi reagovali. Táto nereaktivita zaisťuje, že chemikálie zostávajú účinné a že nedochádza k nežiaducim chemickým reakciám, ktoré by mohli ohroziť integritu doštičiek.

V procesoch čistenia doštičiek je nevyhnutné minimalizovať kontamináciu doštičiek časticami. Semicorex Quartz Tank pre mokré spracovanie je navrhnutý tak, aby znížil riziko kontaminácie, čím sa zabezpečí dôkladné a efektívne čistenie plátkov. Naše kremenné nádrže môžu byť dodané vo vyhrievaných a recirkulačných modeloch, ktoré umožňujú presnú reguláciu teploty a nepretržitú cirkuláciu čistiacich roztokov.

Ďalšou kritickou vlastnosťou Semicorex Quartz Tank pre mokré spracovanie je vysoká tepelná odolnosť. Tieto nádrže môžu pracovať pri teplotách až do 190 °C, čo je vhodné pre procesy, ktoré zahŕňajú zahrievanie čistiacich alebo leptacích roztokov. Vysoký tepelný odpor zaisťuje, že nádrže si zachovajú svoju konštrukčnú integritu a výkon aj pri zvýšených teplotách. Toto je obzvlášť dôležité v procesoch, kde je kontrola teploty rozhodujúca pre dosiahnutie požadovaných výsledkov.

Quartz Tank pre mokré spracovanie tiež vykazuje nízku tepelnú rozťažnosť a vysokú odolnosť voči tepelným šokom. Nízka tepelná rozťažnosť minimalizuje riziko prasknutia alebo deformácie v dôsledku teplotných výkyvov, čím je zabezpečená dlhá životnosť a spoľahlivosť nádrží. Vysoká odolnosť proti tepelným šokom umožňuje kremenným nádržiam odolávať rýchlym zmenám teploty bez toho, aby bola narušená ich štrukturálna integrita. Tieto tepelné vlastnosti sú nevyhnutné na udržanie presnosti a spoľahlivosti krokov mokrého spracovania pri výrobe plátkov.

Vysoká transparentnosť je ďalšou výhodou Semicorex Quartz Tank pre mokré spracovanie. Priehľadnosť kremenného materiálu umožňuje vizuálnu kontrolu plátkov a čistiacich alebo leptacích roztokov počas spracovania. Táto viditeľnosť zlepšuje riadenie a monitorovanie procesov, čím zaisťuje, že akékoľvek problémy je možné rýchlo odhaliť a riešiť. Schopnosť vizuálne monitorovať proces je obzvlášť dôležitá na zabezpečenie kvality a konzistencie krokov čistenia a leptania plátku.

V Semicorex používame pokročilú technológiu obrábania na výrobu vysokokvalitných kremenných nádrží na mokré spracovanie. Naše výrobné možnosti zahŕňajú diamantový kotúč a rezanie laserom na požadovanú veľkosť, čo zaisťuje presné rozmery a vysokokvalitné povrchové úpravy. Používame tiež vysoko leštené povrchy, aby sme minimalizovali riziko tvorby častíc a kontaminácie. Naši skúsení kremenní zvárači a strojníci vytvárajú vysoko čisté kremenné nádrže s vysoko pevnými zváranými vstupmi a držiakmi sond, prispôsobené špecifickým potrebám našich zákazníkov.

Aby sme zvýšili výkon a trvanlivosť Quartz Tank pre mokré spracovanie, žíhame ich, aby sme uvoľnili tepelné namáhanie. Žíhanie je proces tepelného spracovania, ktorý znižuje vnútorné pnutie v kremennom materiáli, zlepšuje jeho odolnosť voči tepelným šokom a zvyšuje jeho celkovú životnosť.

Vlastné veľkosti a konfigurácie sú nevyhnutné na splnenie rôznych požiadaviek procesov výroby polovodičov. V spoločnosti Semicorex ponúkame širokú škálu vlastných veľkostí a konfigurácií pre naše kremenné nádrže, čo nám umožňuje poskytovať riešenia prispôsobené špecifickým potrebám našich zákazníkov. Či už ide o pridanie vysokopevnostných zváraných kremenných vtokov, držiakov sond alebo iných vlastných funkcií, úzko spolupracujeme s našimi klientmi na dodávaní kremenných nádrží, ktoré spĺňajú ich presné špecifikácie.