Satelitná doska SemiCorex je kritickou zložkou používanou v polovodičových epitaxných reaktoroch, špeciálne navrhnutých pre zariadenia Aixtron G5+. SemiCorex kombinuje pokročilé odborné znalosti materiálov s technológiou špičkovej náteru na dodanie spoľahlivých a vysokovýkonných riešení prispôsobených náročným priemyselným aplikáciám.*
Satelitná doska Semicorex je životne dôležitým nosičom oblátky počas procesu epitaxného rastu, ktorý zaručuje rovnomernú depozíciu a optimálnu účinnosť procesu. Táto doska, ktorá je vyrobená z vysokokvalitného grafitu a potiahnutá robustným karbidom kremíkového karbidu (SIC), dodáva výnimočnú tepelnú stabilitu, chemický odpor a mechanickú pevnosť, čo upevňuje jeho polohu ako nevyhnutnú zložku vo vysokovýkonnej polovodičovej výrobe.
Pri vysoko čistej grafitovej základni vyniká satelitná doska v tepelnej vodivosti a štrukturálnej integrite. TenNáter SICVýrazne zvyšuje jeho trvanlivosť, poskytuje vysokú teplotu rezistencie, chemickú inerte a dramaticky znižuje tvorbu častíc. Táto výkonná kombinácia zaisťuje, že doska vydrží tvrdé podmienky spracovania, zatiaľ čo neustále vykonáva na vysokej úrovni. Graphitová báza uľahčuje účinný prenos tepla, zabezpečuje rovnomerné rozdelenie teploty cez oblátku, zatiaľ čo povlak SIC chráni pred korozívnymi procesnými plynmi, čím bráni kontaminácii a rozširuje životnosť. Povrch SIC navyše minimalizuje uvoľňovanie častíc, čo je rozhodujúce pre dosiahnutie výroby polovodičov s vysokým výnosom.
Navrhnutá špeciálne pre bezproblémovú integráciu so systémami Aixtron G5+, satelitná doska zaručuje presné polohovanie oblátok a rotačnú rovnováhu, ktorá je nevyhnutná na udržanie stabilných tepelných podmienok a zníženie miery defektov. Pokročilé zloženie materiálového zloženia dosky nielen rozširuje svoju životnosť, ale tiež výrazne znižuje prevádzkové náklady a zvyšuje výrobnú produktivitu.
Primárne využívaná v procese depozície kovových organických chemickej pary (MOCVD) je satelitná doska rozhodujúca pre pestovanie epitaxiálnych vrstiev na polodičových doštičkách. Hrá kľúčovú úlohu pri výrobe pokročilých polovodičových zariadení vrátane LED diódy, výkonovej elektroniky založenej na SIC a GAN, fotonických a optoelektronických komponentov a vysokofrekvenčných RF zariadení. Zabezpečením stabilných tepelných podmienok a minimalizáciou kontaminácie satelitná doska zaručuje konzistentný rast epitaxnej vrstvy, čo vedie k zlepšenej manipulácii s oblátkami a vyššími rýchlosťami výťažku. Jeho optimalizovaný návrh zaisťuje podporu doštičiek efektívne, znižuje defekty a zabezpečuje presnosť v celom štádiách spracovania polovodičov.
Satelitná doska Semicorex slúži ako základná zložka pre reaktory Aixtron G5+ Epitaxy, ktorá poskytuje bezkonkurenčnú trvanlivosť, chemický odpor a tepelný výkon. Vďaka jeho špičkovému zloženiu materiálu a inžinierstvu je rozhodujúce pre proces výroby polovodičov, čím sa zabezpečuje výroba vysokokvalitných a vysokokvalitných doštičiek. Investujte do satelitnej dosky, aby ste zvýšili výrobu polovodičov a dosiahli excelentnosť v procesoch epitaxiálneho rastu.