Planetárne susceptory potiahnuté SiC

Planetárne susceptory potiahnuté SiC Semicorex sú nepostrádateľným podporným komponentom určeným pre epitaxiálny rast polovodičov v zariadeniach Aixtron G2, v ktorých sú schopné bezpečne podopierať doštičky a otáčať sa planetárnym pohybom. Týmto spôsobom možno úspešne dosiahnuť presnú tepelnú rovnomernosť a rovnomernú distribúciu plynu po povrchu plátku, čo vedie k naneseniu epitaxiálnej vrstvy na plátkoch najvyššej kvality.

Výhody planetárnych susceptorov s povlakom Semicorex SiC

1. Dizajn vrecka na viac oblátok

S povlakom Semicorex SiCplanetárne susceptoryvyznačujú sa rovnomerným rozložením niekoľkých vreciek na doštičky s presne kontrolovanými rozmermi. Tieto vrecká sú schopné pevne držať plátkové substráty počas procesu epitaxného rastu, čo môže účinne minimalizovať variácie epitaxiálneho procesu spôsobené nežiaducim pohybom plátkových substrátov. Okrem toho tento dizajn vreciek s viacerými plátkami umožňuje, aby sa viacnásobné plátkové substráty podrobili epitaxnému nanášaniu súčasne v jedinom behu procesu, čo výrazne zlepšuje celkovú účinnosť procesu epitaxného rastu.

2. Optimalizované usporiadanie otvorov na prietok plynu

Semicorex obsahuje starostlivo navrhnutý súbor kanálov na prietok plynuSiC-kaotovanéplanetárne susceptory, ktoré zdokonaľujú optimalizáciu dynamiky prúdenia plynu a tepelnú rovnomernosť na povrchu plátku počas epitaxného procesu. Tento premyslený dizajn umožňuje presnú kontrolu nad prietokom plynu a jeho distribúciou vo vnútri reakčnej komory, čo je nevyhnutné na dosiahnutie vysokokvalitných tenkých filmov, rovnomernej hrúbky vrstvy a spoľahlivého celkového výkonu zariadenia.

3. Ultra vysoká čistota

Planetárne susceptory potiahnuté SiC Semicorex sa vyrábajú z materiálov s mimoriadne vysokou čistotou a extrémne nízkymi hladinami nečistôt, ktoré plne spĺňajú prísne požiadavky na čistotu pri výrobe polovodičov. Efektívne minimalizujú kontamináciu plátku spôsobenú kovovým uvoľňovaním plynu, dokonca aj pri vysokoteplotných a korozívnych podmienkach typických pre epitaxné procesy.

4. Dlhotrvajúca životnosť

Kontrola kvality spoločnosti Semicorex začína naším prísnym výberom surovín. Planetárne susceptory s povlakom SiC sú presne vyrobené z polovodičového grafitu a karbidu kremíka, ponúkajú vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a korózii, vďaka čomu dokonale odolávajú náročným vysokoteplotným a vysoko korozívnym epitaxným prevádzkovým podmienkam. Vďaka týmto vynikajúcim materiálovým vlastnostiam si planetárne susceptory s povlakom SiC Semicorex môžu zachovať svoj konzistentný výkon a štrukturálnu integritu a vyhnúť sa poškodeniu povrchu a poklesu výkonu vo vysokoteplotných a vysokokoróznych reakčných komorách, čím sa výrazne predlžuje životnosť planetárnych susceptorov s povlakom SiC.