Nosiče plátkov s grafitovým substrátom s povlakom SiC pre MOCVD

Môžete si byť istí, že si v našej továrni kúpite nosiče doštičiek s grafitovým substrátom SiC pre MOCVD. V spoločnosti Semicorex sme veľkým výrobcom a dodávateľom grafitového susceptora potiahnutého SiC v Číne. Náš produkt má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Našim zákazníkom sa snažíme poskytovať vysokokvalitné produkty, ktoré spĺňajú ich špecifické požiadavky. Náš nosič povlaku SiC s grafitovým substrátom pre MOCVD je vynikajúcou voľbou pre tých, ktorí hľadajú vysokovýkonný nosič pre svoj proces výroby polovodičov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Nosič plátku s grafitovým substrátom SiC pre MOCVD hrá kľúčovú úlohu v procese výroby polovodičov. Náš produkt je vysoko stabilný aj v extrémnych prostrediach, vďaka čomu je vynikajúcou voľbou na výrobu vysokokvalitných oblátok.
Vlastnosti našich nosičov plátkov s grafitovým substrátom SiC pre MOCVD sú vynikajúce. Jeho hustý povrch a jemné častice zvyšujú jeho odolnosť proti korózii, vďaka čomu je odolný voči kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám. Nosič zaisťuje rovnomerný tepelný profil a zaručuje najlepší laminárny vzor prúdenia plynu, čím zabraňuje difúzii akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt do plátku.

Parametre SiC Coating Grafitové substrátové plátkové nosiče pre MOCVD

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptora potiahnutého SiC pre MOCVD

- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt