SiC povlak je tenká vrstva na susceptore prostredníctvom procesu chemického nanášania pár (CVD). Materiál z karbidu kremíka poskytuje oproti kremíku množstvo výhod, vrátane 10-násobku intenzity elektrického poľa pri prieraze, 3-násobku šírky pásma, čo poskytuje materiálu odolnosť voči vysokej teplote a chemikáliám, vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú vodivosť.
Semicorex poskytuje prispôsobené služby, pomáha vám inovovať komponenty, ktoré vydržia dlhšie, skracujú časy cyklov a zlepšujú výnosy.
SiC povlak má niekoľko jedinečných výhod
Odolnosť voči vysokej teplote: Susceptor potiahnutý CVD SiC môže odolať vysokým teplotám až do 1600 °C bez výraznej tepelnej degradácie.
Chemická odolnosť: Povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu odolnosť voči širokému spektru chemikálií, vrátane kyselín, zásad a organických rozpúšťadiel.
Odolnosť proti opotrebovaniu: Povlak SiC poskytuje materiálu vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré zahŕňajú vysoké opotrebovanie.
Tepelná vodivosť: Povlak CVD SiC poskytuje materiálu vysokú tepelnú vodivosť, vďaka čomu je vhodný na použitie vo vysokoteplotných aplikáciách, ktoré vyžadujú efektívny prenos tepla.
Vysoká pevnosť a tuhosť: Susceptor potiahnutý karbidom kremíka poskytuje materiálu vysokú pevnosť a tuhosť, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré vyžadujú vysokú mechanickú pevnosť.
SiC povlak sa používa v rôznych aplikáciách
Výroba LED: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa pri výrobe rôznych typov LED, vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED, vďaka svojej vysokej tepelnej vodivosti a chemickej odolnosti.
Mobilná komunikácia: CVD SiC potiahnutý susceptor je kľúčovou súčasťou HEMT na dokončenie epitaxného procesu GaN-on-SiC.
Spracovanie polovodičov: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa v polovodičovom priemysle na rôzne aplikácie vrátane spracovania plátkov a epitaxného rastu.
Grafitové komponenty potiahnuté SiC
Vyrobené z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), povlak sa nanáša metódou CVD na špecifické druhy grafitu s vysokou hustotou, takže môže pracovať vo vysokoteplotnej peci s viac ako 3000 °C v inertnej atmosfére, 2200 °C vo vákuu .
Špeciálne vlastnosti a nízka hmotnosť materiálu umožňujú vysokú rýchlosť ohrevu, rovnomerné rozloženie teploty a vynikajúcu presnosť ovládania.
Materiálové údaje Semicorex SiC Coating
Typické vlastnosti |
Jednotky |
hodnoty |
Štruktúra |
|
FCC β fáza |
Orientácia |
zlomok (%) |
111 preferovaný |
Objemová hmotnosť |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Tepelná rozťažnosť 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃) |
430 |
Veľkosť zrna |
μm |
2~10 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
Záver CVD SiC potiahnutý susceptor je kompozitný materiál, ktorý kombinuje vlastnosti susceptora a karbidu kremíka. Tento materiál má jedinečné vlastnosti, vrátane vysokej teploty a chemickej odolnosti, vynikajúcej odolnosti proti opotrebovaniu, vysokej tepelnej vodivosti a vysokej pevnosti a tuhosti. Tieto vlastnosti z neho robia atraktívny materiál pre rôzne vysokoteplotné aplikácie, vrátane spracovania polovodičov, chemického spracovania, tepelného spracovania, výroby solárnych článkov a výroby LED.
Semicorex Susceptor Disc je nepostrádateľným nástrojom pri metalo-organickom chemickom nanášaní pár (MOCVD), špeciálne navrhnutý na podporu a zahrievanie polovodičových doštičiek počas kritického procesu nanášania epitaxnej vrstvy. Susceptorový disk je nástrojom pri výrobe polovodičových zariadení, kde je prvoradý presný rast vrstvy. Záväzok spoločnosti Semicorex poskytovať špičkovú kvalitu na trhu v spojení s konkurenčnými fiškálnymi úvahami posilňuje našu horlivosť nadviazať partnerstvá pri plnení požiadaviek na prepravu vašich polovodičových plátkov.
Čítaj viacOdoslať dopytEpitaxná monokryštalická Si doska zapuzdruje vrchol jemnosti, odolnosti a spoľahlivosti pre aplikácie týkajúce sa grafitovej epitaxie a manipulácie s plátkami. Vyznačuje sa hustotou, rovinnosťou a schopnosťami tepelného manažmentu, vďaka čomu je optimálnou voľbou pre náročné prevádzkové podmienky. Záväzok spoločnosti Semicorex poskytovať špičkovú kvalitu na trhu v spojení s konkurenčnými fiškálnymi úvahami posilňuje našu horlivosť nadviazať partnerstvá pri plnení požiadaviek na prepravu vašich polovodičových plátkov.
Čítaj viacOdoslať dopytJednokryštálový kremíkový epi susceptor je základná súčasť navrhnutá pre procesy epitaxie Si-GaN, ktorú je možné prispôsobiť individuálnym špecifikáciám a preferenciám a poskytuje tak riešenie na mieru, ktoré sa dokonale zhoduje so špecifickými požiadavkami. Či už to znamená úpravy rozmerov alebo úpravy hrúbky povlaku, máme schopnosť navrhnúť a dodať produkt, ktorý vyhovuje rôznym procesným parametrom, čím optimalizuje výkon pre cielené aplikácie. Záväzok spoločnosti Semicorex poskytovať špičkovú kvalitu na trhu v spojení s konkurenčnými fiškálnymi úvahami posilňuje našu horlivosť nadviazať partnerstvá pri plnení požiadaviek na prepravu vašich polovodičových plátkov.
Čítaj viacOdoslať dopytSiC epitaxný susceptor, vyrobený s presnosťou a skonštruovaný pre spoľahlivosť, sa vyznačuje vysokou odolnosťou proti korózii, vysokou tepelnou vodivosťou, odolnosťou voči tepelným šokom a vysokou chemickou stabilitou, čo mu umožňuje efektívne fungovať v epitaxnej atmosfére. Preto sa SiC epitaxný susceptor považuje za jadro a rozhodujúci komponent v zariadení MOCVD. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Carbide Boat Holder je špecializovaný produkt vyrobený z materiálu SiC, starostlivo navrhnutý pre aplikácie v odvetviach, ako je fotovoltaika, elektronika a polovodiče. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Solar Graphite Boat, precízne skonštruovaný držiak doštičiek navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky vysokoteplotného spracovania polovodičov. Tento inovatívny čln, vyrobený z prvotriedneho grafitu, ponúka bezkonkurenčnú tepelnú stabilitu a odolnosť, čím zabezpečuje optimálny výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach pecí. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt