Zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka

Zaostrovacie krúžky z karbidu kremíkasa bežne inštalujú v reakčnej komore leptacieho zariadenia, ktoré sú umiestnené okolo nosnej plochy plátku elektrostatického skľučovadla. Toto inštalačné usporiadanie môže úspešne vyplniť výškový rozdiel medzi okrajom plátku a elektródou, zamerať plazmu v reakčnej komore na povrch plátku, aby sa dosiahlo rovnomerné leptanie a tiež zabrániť difúzii plazmy smerom von z okraja plátku, aby sa predišlo problému nadmerného leptania okraja plátku.

Vysokokvalitné leptacie komponenty môžu poskytnúť stabilné prostredie elektrického poľa pre proces leptania. Zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka Semicorex sú vyrobené z vysokovýkonného materiálumateriály z karbidu kremíkaprostredníctvom chemického nanášania pár. Naše zaostrovacie krúžky sú schopné upraviť distribúciu elektrického poľa okolo plátku, čím sa výrazne znížia odchýlky od leptania alebo výbojové javy spôsobené nerovnomernými elektrickými poľami.

Polovodičové doštičky sú ľahko náchylné na kontamináciu časticami, takže procesy plazmového leptania sa musia vykonávať v ultračistých reakčných komorách na leptanie iónov. Ako primárna zložka leptacieho zariadenia prichádzajú zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka v skutočnej prevádzke do priameho kontaktu s okrajom plátku, čo je tiež potrebné na splnenie veľmi vysokých štandardov čistoty. Zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka Semicorex ponúkajú výhody vysokej čistoty a nízkeho obsahu nečistôt, ktoré dokážu presne splniť prísne požiadavky na čistotu procesov leptania polovodičov. To výrazne prispieva k zníženiu defektov doštičiek a zlepšuje výťažok výroby doštičiek.

Počas procesu plazmového leptania sa do reakčnej komory zavádzajú leptacie plyny, ako je fluór a kyslík. Odolnosť leptacieho zariadenia proti chemickej korózii je vážne ovplyvnená dlhotrvajúcou koróziou spôsobenou procesnými plynmi. Vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči plazmovej korózii je karbid kremíka optimálnou voľbou materiálu na výrobu zaostrovacích krúžkov. Znížením možnosti poškodenia komponentov v dôsledku korózie a minimalizovaním potreby častej výmeny a údržby môžu zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka výrazne zvýšiť efektivitu výroby polovodičových doštičiek.