Pevné rebrá z karbidu kremíka

Semicorex pevná látkarebrá z karbidu kremíkasa zvyčajne inštalujú ako komponenty tepelnej izolácie vo zvislých rúrach pecí zariadení na tepelné spracovanie polovodičov, ako sú žíhacie pece RTP a difúzne pece. Pevné rebrá z karbidu kremíka Semicorex môžu účinne regulovať rozloženie teploty vo vysokoteplotných peciach a minimalizovať tepelné poškodenie častí tesnenia dvierok spôsobené vysokými teplotami. V prevádzkových podmienkach oxidácie za mokra je možné použiť pevné rebrá z karbidu kremíka Semicorex na účinnú prevenciu negatívnych vplyvov na výsledky procesu a polovodičové zariadenia spôsobené kondenzáciou vodnej pary pri relatívne nízkych procesných teplotách.

Výhody pevných rebier z karbidu kremíka Semicorex

1. Vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu

CVD SiC sa vyznačuje polykryštalickou kubickou kryštálovou štruktúrou s výnimočnou tvrdosťou na druhom mieste po diamante. Tejto vlastnosti sa pripisuje vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu rebier Semicorex z karbidu kremíka, vďaka čomu sú odolné voči oderu pri manipulácii a výmene.

2. Vynikajúca kapacita tepelného manažmentu

CVD SiC poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a stabilitu pri vysokej teplote, ktorá sa netopí ani nemäkne pri teplotách až do približne 2000 °C a zachováva si stabilitu pred sublimáciou pri ultravysokých teplotách. Vďaka týmto vynikajúcim tepelným vlastnostiam sú pevné rebrá z karbidu kremíka Semicorex veľmi vhodné pre náročné podmienky tepelného spracovania polovodičov.

3. Ultra vysoká čistota

CVD-SiCsa vyrába bez spekacích prísad počas procesu vylučovania. V porovnaní s konvenčným reakčne viazaným karbidom kremíka sa vyznačuje oveľa vyššou čistotou, ktorá dosahuje viac ako 99,9995 %. To účinne zabraňuje kontaminácii pevných rebier Semicorex z karbidu kremíka kovovými nečistotami spôsobenej vysokými teplotami v procesnom prostredí, čo dokonale spĺňa požiadavky na čistotu pokročilej výroby polovodičov.

4. Spoľahlivá odolnosť proti korózii

Pevné rebrá z karbidu kremíka Semicorex dokážu odolať vysoko oxidačným a silne kyslým procesným plynom používaným v procesoch tepelného spracovania polovodičov vďaka výnimočnej chemickej inertnosti CVD SiC pri vysokých teplotách. Táto spoľahlivá odolnosť proti korózii účinne predlžuje ich životnosť a znižuje náklady na výmenu komponentov.

5. Presná presnosť obrábania

Aby sa zabezpečila kompatibilita s rôznymi rúrami pece, Semicorex môže prispôsobiť pevné rebrá z karbidu kremíka podľa požiadaviek zákazníka na priemer, hrúbku, veľkosť otvoru, rovinnosť a rozmerové tolerancie. Táto vysoko štandardná presnosť obrábania zaručuje stabilnú prevádzku rebier v zariadeniach a pomáha optimalizovať celkovú účinnosť aplikácií tepelného spracovania polovodičov.