Pevný zaostrovací krúžok z karbidu kremíka

Zaostrovací krúžok z karbidu kremíka Semicorex je kľúčovým komponentom pri výrobe polovodičov, strategicky umiestnený mimo doštičky, aby sa zachoval priamy kontakt. Využitím aplikovaného napätia tento krúžok sústreďuje plazmu, ktorá ním prechádza, čím zvyšuje jednotnosť procesu na plátku. Tento zaostrovací krúžok, vyrobený výlučne z karbidu kremíka na chemické nanášanie pár (CVD SiC), stelesňuje výnimočné vlastnosti požadované polovodičovým priemyslom. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonného zaostrovacieho krúžku z karbidu kremíka, ktorý spája kvalitu s cenovou efektívnosťou.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Pri výrobe polovodičov má Semicorex pevný zaostrovací krúžok z karbidu kremíka kľúčovú úlohu tým, že pôsobí ako štít a zachováva integritu plátku počas procesu leptania. Jeho starostlivo navrhnutý dizajn zaisťuje presné a rovnomerné leptanie, čím uľahčuje výrobu veľmi zložitých polovodičových prvkov, ktoré vykazujú vynikajúci výkon a spoľahlivosť.

Karbid kremíka je materiálom voľby pre zaostrovací krúžok kvôli jeho vynikajúcej odolnosti voči plazmovej korózii pri vystavení plazme vo vákuovej reakčnej komore. Zaostrovací krúžok z karbidu kremíka prekonáva tradičný kremík v niekoľkých aspektoch, vrátane:

(1) Vysoká hustota, ktorá minimalizuje rýchlosť leptania.

(2) Vynikajúca pásová medzera a vynikajúce izolačné vlastnosti.

(3) Výnimočná tepelná vodivosť, nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a odolnosť voči tepelným šokom.

(4) Vysoká elasticita spojená s vynikajúcou odolnosťou voči mechanickým nárazom.

(5) Vynikajúca tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii.

Vodivosť karbidu kremíka a odolnosť voči iónovému leptaniu sú podobné kremíku, vďaka čomu je zaostrovací krúžok z karbidu kremíka ideálnym materiálom pre túto aplikáciu.

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring predstavuje najmodernejšie riešenie v oblasti výroby polovodičov. Využíva jedinečné vlastnosti CVD SiC na uľahčenie spoľahlivých, vysokovýkonných leptacích procesov, čo výrazne prispieva k pokroku v oblasti polovodičovej technológie.