Susceptory pre MOCVD reaktory

Susceptory Semicorex pre reaktory MOCVD sú vysokokvalitné produkty používané v polovodičovom priemysle na rôzne aplikácie, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Náš produkt je dostupný v tvare ozubeného kolesa alebo krúžku a je navrhnutý tak, aby dosahoval odolnosť proti oxidácii pri vysokých teplotách, vďaka čomu je stabilný pri teplotách až do 1600 °C.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Naše susceptory pre reaktory MOCVD sa vyrábajú chemickou depozíciou z pár CVD za podmienok vysokoteplotnej chlorácie, čím sa zabezpečuje vysoká čistota. Povrch produktu je hustý, s jemnými časticami a vysokou tvrdosťou, vďaka čomu je odolný voči kyselinám, zásadám, soli a organickým činidlám.
Naše susceptory pre reaktory MOCVD sú navrhnuté tak, aby zabezpečili povlak na všetkých povrchoch, zabránili odlupovaniu a dosiahli najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu. Produkt zaručuje rovnomernosť tepelného profilu a zabraňuje akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt počas procesu, čím zaisťuje vysokokvalitné výsledky.
V Semicorex uprednostňujeme spokojnosť zákazníka a poskytujeme cenovo výhodné riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre susceptorov pre reaktory MOCVD

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového susceptora potiahnutého SiC pre MOCVD

- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt