15-palcový kremenný zvonček

Semicorex 15" Quartz Bell Jar je navrhnutý tak, aby spĺňal tieto výzvy a poskytuje vysokovýkonné riešenie pre stredné až veľké dávkové spracovanie, kde je pre maximalizáciu výťažku zásadná tepelná rovnomernosť a čistota materiálu. V polovodičovom a tenkovrstvovom priemysle je integrita procesnej komory prvoradá. Ako sa veľkosť plátkov zväčšuje a uzly sa zmenšujú, požiadavka na chemicky čisté a odolné prostredie sa stáva stabilným.

1. Náuka o materiáloch: Čistota taveného oxidu kremičitého

Základom našej zvonovej nádoby je vysoká čistotatavený oxid kremičitý (quartz). Na rozdiel od štandardného skla sa kremeň skladá takmer výlučne z SiO2, čo poskytuje jedinečné vlastnosti, ktoré sú životne dôležité pre výrobu polovodičov:

Ultranízka kontaminácia: Náš kremeň je spracovaný tak, aby sa minimalizovali kovové stopové prvky (ako Al, Fe, Na a K) na úroveň častí na miliardu (ppb). Tým sa zabráni difúzii nečistôt do plátku počas vysokoteplotných cyklov, čím sa zabezpečí elektrická integrita zariadení.

Vynikajúca odolnosť proti tepelnému šoku: Kremeň má takmer nulový koeficient tepelnej rozťažnosti (CTE). To umožňuje 15-palcovej nádobe Quartz Bell odolať rýchlemu nárastu teploty a rýchlemu ochladzovaniu bez rizika prasknutia alebo štrukturálnej únavy – kritická požiadavka pre vysokovýkonné reaktory.

Vynikajúca chemická inertnosť: Kremeň je vysoko odolný voči väčšine kyselín (s výnimkou kyseliny fluorovodíkovej) a korozívnym procesným plynom, čo zaisťuje, že komora nedegraduje ani neuniká plynom počas agresívnych cyklov leptania alebo nanášania.

2. Presné inžinierstvo a optická čistota

15" Quartz Bell Jar poskytuje maximálny objem a optimálnu dynamiku prúdenia plynu na účely dávkového spracovania plátkov. Banka má vertikálny komín (tiež známy ako hrdlo), ktorý je optimálne navrhnutý tak, aby poskytoval prívod plynu alebo pomáhal pri extrakcii plynu cez vákuum z banky, čo je znázornené na obrázku vyššie.

Optická priehľadnosť - Vysoká úroveň prenosukremenný materiálvyžarovanie vlnových dĺžok v ultrafialovej, viditeľnej a infračervenej oblasti spektra umožňuje spracovanie v reálnom čase, ako aj použitie externých ohrievačov lámp na rýchle tepelné spracovanie (RTP).

Vystužené tesniace povrchy – Hrdlo nádoby má špeciálne vyvinuté nepriehľadné biele tesnenie (označované aj ako zabrúsený spoj), ktoré poskytuje hermetické (vzduchovo uzavreté) a vákuovo tesné rozhranie medzi základnou doskou reaktora a nádobou.

Žíhanie na zmiernenie stresu – Všetky 15-palcové kremenné zvonové nádoby prechádzajú prísnym procesom tepelného žíhania, aby sa uvoľnilo vnútorné mechanické napätie, ktoré bolo na nádobu vystavené mechanickým procesom fúkania alebo tvarovania nádoby, čím sa výrazne znižuje možnosť, že nádoba spontánne zlyhá pri vákuovom zaťažení.

3. Kritické aplikácie v Semiconductor Fab

Naša 15-palcová kremenná nádoba je špeciálne navrhnutá na integráciu do nasledujúcich vysokohodnotných procesov:

Silikónová epitaxia: Poskytnutie priehľadnej, nereaktívnej nádoby na pestovanie vysokokvalitných vrstiev monokryštálového kremíka.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Odoláva korozívnemu plazmovému prostrediu pri zachovaní vysokej dielektrickej pevnosti.

Difúzia a oxidácia: Slúži ako čistá, vysoko tepelná komora na tvorbu oxidov brány a vjazdu dopantov.

Výroba predliskov z optických vlákien: Ideálne na vysoko čisté nanášanie vrstiev oxidu kremičitého pri výrobe špeciálneho skla.

V Semicorex zaobchádzame s každou zvonovou nádobou ako s presným laboratórnym vybavením. Náš proces zahŕňa: Prísne získavanie materiálov s overenou elektronickou kvalitoukremeňingoty; pokročilá výroba, ktorá spája tradičné zručnosti fúkania skla s CNC riadeným brúsením a leštením; a dôkladná kontrola pomocou polarizovaného svetla na detekciu zvyškového napätia a laserová interferometria pre presné rozmerové kontroly.