Semiconductor Quartz Bell Jar

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar je zvyčajne vyrobený zo syntetického taveného kremeňa, materiálu známeho pre svoju výnimočnú čistotu, odolnosť voči vysokej teplote a nízku tepelnú rozťažnosť. To zaisťuje, že komora nevnáša kontaminanty alebo nečistoty do procesu výroby polovodičov.

Semiconductor Quartz Bell Jar je zvyčajne valcový alebo kupolovitý, s plochou alebo mierne zakrivenou základňou na umiestnenie polovodičových doštičiek alebo substrátov. Je vybavený precíznym, vzduchotesným tesniacim mechanizmom, ako je príruba alebo tesnenie s O-krúžkom, na udržanie vákua alebo riadenej atmosféry vo vnútri komory počas spracovania.

Semiconductor Quartz Bell Jar ponúka vynikajúcu optickú čistotu, čo umožňuje operátorom vizuálne monitorovať procesy vo vnútri komory bez toho, aby bola ohrozená presnosť alebo zavádzanie rušenia. Kremeň je vysoko odolný voči chemickému napadnutiu väčšinou kyselín, zásad a rozpúšťadiel bežne používaných v procesoch výroby polovodičov. To zaisťuje celistvosť komory a zabraňuje kontaminácii substrátov.

Kremeň má vysoký bod topenia a tepelnú stabilitu, čo umožňuje polovodičovej kremennej nádobe odolávať zvýšeným teplotám, ktoré sa vyskytujú počas procesov nanášania alebo žíhania, bez deformácie alebo degradácie.

Aplikácie:

Nanášanie: Polovodičové kremenné poháre sa používajú v rôznych technikách nanášania, ako je chemické nanášanie pár (CVD), fyzikálne nanášanie pár (PVD) a nanášanie atómovej vrstvy (ALD) na nanášanie tenkých vrstiev materiálov na polovodičové substráty s presnosťou a rovnomernosťou.

Leptanie: Používajú sa v procesoch plazmového leptania na selektívne odstraňovanie materiálu z polovodičových doštičiek, čím sa vytvárajú zložité vzory a štruktúry s vysokou presnosťou a opakovateľnosťou.

Žíhanie: Zvonové poháre sa používajú v žíhacích procesoch na podrobenie polovodičových doštičiek riadenému tepelnému spracovaniu, čím sa uľahčuje kryštalizácia, aktivácia dopantu a uvoľnenie napätia v nanesených filmoch.