Semicorex High Purity Quartz Bell Jar, navrhnutý tak, aby ponúkal bezkonkurenčný výkon v extrémnych podmienkach, kombinuje výnimočné vlastnosti materiálu, aby splnil prísne požiadavky výroby polovodičov.**
V oblasti výroby a výskumu polovodičov nachádza vysoko čistý kremenný zvonový pohár široké využitie v procesoch, ako je tepelná oxidácia, žíhanie a chemické nanášanie pár (CVD). Tieto postupy často vyžadujú kontrolovanú atmosféru alebo podmienky vákua, aby sa zabezpečila integrita a kvalita spracovávaných materiálov. Quartz Bell Jar s vysokou čistotou poskytuje stabilné prostredie, chráni vzorky pred atmosférickou kontamináciou a uľahčuje presnú kontrolu nad experimentálnymi parametrami.
Dizajn a Štruktúra
Kremenná zvonová nádoba s vysokou čistotou má zvyčajne valcový alebo kužeľový tvar s plochým dnom a otvorenou hornou časťou, čo sa veľmi podobá zvonu - odtiaľ jeho názov. Tento dizajn umožňuje jednoduché umiestnenie a odstraňovanie vzoriek a zároveň zaisťuje, že komora môže byť bezpečne utesnená, aby sa zachovalo vákuum alebo podmienky inertného plynu. Štrukturálna integrita nádoby je prvoradá vzhľadom na náročné tepelné a chemické prostredie, ktoré musí vydržať.
Normy vysokej čistoty
Zvonová nádoba je vyrobená z vysoko čistého taveného kremeňa a je navrhnutá tak, aby minimalizovala kontamináciu spracovávaných vzoriek alebo materiálov. Táto vysoká úroveň čistoty je nevyhnutná pri výrobe polovodičov, kde aj nepatrné nečistoty môžu výrazne ovplyvniť výkon konečného produktu. Použitie taveného kremeňa zaisťuje, že zvonová nádoba spĺňa prísne štandardy čistoty požadované pre high-tech aplikácie a poskytuje spoľahlivé prostredie bez kontaminácie pre rôzne procesy.
Výnimočná tepelná stabilita
Jednou z výnimočných vlastností taveného kremeňa je jeho vynikajúca tepelná stabilita. High Purity Quartz Bell Jar odolá vysokým teplotám bez výraznej deformácie alebo degradácie, vďaka čomu je vhodný pre širokú škálu tepelných procesov. Táto tepelná odolnosť je rozhodujúca pre aplikácie, ako sú tepelnéoxidácia a žíhanie, kde je udržiavanie konzistentných teplôt kľúčové pre dosiahnutie požadovaných vlastností materiálu.
Chemická inertnosť
Kremeň je vysoko odolný voči väčšine chemikálií, čo zaručuje kompatibilitu so širokým spektrom látok a reakčných podmienok. Táto chemická inertnosť je obzvlášť cenná pri procesoch s agresívnymi chemikáliami, pretože zabraňuje reakcii zvonovej nádoby so spracovávanými látkami. High Purity Quartz Bell Jar teda poskytuje chemicky stabilné prostredie, zachováva integritu vzoriek a zaisťuje presné a reprodukovateľné výsledky.
Transparentnosť pre vizuálne pozorovanie
Ďalšou významnou výhodou kremeňa je jeho transparentnosť voči UV a viditeľnému svetlu. Zvonová nádoba z kremeňa s vysokou čistotou umožňuje vizuálne pozorovanie procesov prebiehajúcich vo vnútri komory a poskytuje cenné informácie o experimentálnych podmienkach. Táto transparentnosť je užitočná najmä v prostredí výskumu, kde monitorovanie v reálnom čase môže pomôcť pri optimalizácii parametrov procesu a dosahovaní požadovaných výsledkov.
Kompatibilita s vákuom
Zvonový pohár s vysokou čistotou je navrhnutý tak, aby vytváral a udržiaval podmienky vákua, čo je kritická požiadavka pre mnohé pokročilé výskumné a výrobné procesy. Funkcie, ako sú príruby zo brúseného skla, zaisťujú bezpečné utesnenie s vákuovými adaptérmi alebo pumpami, pričom zachovávajú integritu vákuového prostredia. Táto schopnosť je nevyhnutná pre procesy ako CVD, kde je potrebná presná kontrola nad atmosférou na dosiahnutie rovnomerného ukladania materiálu.