4" 6" 8" Ingot SiC typu N

Semicorex poskytuje ingot SiC typu N so 4 palcov, 6 palcov a 8 palcov. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom oblátok. Náš 4" 6" 8" SiC ingot typu N má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex poskytuje 4" 6" 8" SiC ingot typu N. Dlhé roky sme výrobcom a dodávateľom doštičiek.

Špecifikácia 4 palcového ingotu SiC typu N
Položky			Výrobný stupeň			Dummy Grade
Polytyp			4H
Dopant			dusík typu n
Odpor			0,015 ~ 0,025 ohm · cm			0,015 ~ 0,028 ohm · cm
Priemer			100,25±0,25 mm
Hrúbka			≥15 mm
Chyba orientácie povrchu			4° smerom k <11-20>±0,2°
Primárna orientácia bytu			[1-100] ± 5,0°
Primárna plochá dĺžka			32,5±1,5 mm
Vedľajší byt			90,0°CW od primárnej ±5,0°, kremíkom nahor
Sekundárna plochá dĺžka			18±1,5 mm
Hustota mikropipe			≤0,5 ea/cm2			≤10 ea/cm2
BPD			≤2000 ea/cm2			--
TSD			≤ 500 ea/cm2			--
Trhliny na okrajoch			≤ 3 z, ≤ 1 mm/rok			≤ 5 z, ≤ 3 mm/rok
Polytypové oblasti			žiadne			≤ 5 % plochy
Odsadenie okrajov			≤ 3 ka, ≤ 1 mm šírka a hĺbka			≤ 5 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka
Označenie			C-tvár
Balenie			jednotková ingotová kazeta, vákuové balenie
Špecifikácia 6-palcového ingotu SiC typu N
Položky		Výrobný stupeň			Dummy Grade
Polytyp		4H
Dopant		dusík typu n
Odpor		0,015 až 0,025			0,015 až 0,028
Priemer		150,25±0,25 mm
Hrúbka		≥15 mm
Chyba orientácie povrchu		4° smerom k <11-20>±0,2°
Primárna orientácia bytu		[1-100] ± 5,0°
Primárna plochá dĺžka		47,5±1,5 mm
Hustota mikropipe		≤0,5 ea/cm2			≤10 ea/cm2
BPD		≤2000 ea/cm2			--
TSD		≤ 500 ea/cm2			--
Trhliny na okrajoch		≤ 3 z, ≤ 1 mm/rok			≤ 5 z, ≤ 3 mm/rok
Polytypové oblasti		žiadne			≤ 5 % plochy
Odsadenie okrajov		≤ 3 ka, ≤ 1 mm šírka a hĺbka			≤ 5 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka
Označenie		C-tvár
Balenie		jednotková ingotová kazeta, vákuové balenie
Špecifikácia 8-palcového ingotu SiC typu N
Položky	Výrobný stupeň			Výskumný stupeň			Dummy Grade
Polytyp	4H
Dopant	dusík typu n
Odpor	0,015 až 0,028			0,01 až 0,04			TO
Priemer	200,25±0,25 mm
Hrúbka	TO
Chyba orientácie povrchu	4° smerom k <11-20>±0,5°
Orientácia zárezu	[1-100] ± 5,0°
Hĺbka zárezu	1~1,5 mm
Hustota mikropipe	≤ 2 ea/cm2			≤10 ea/cm2			≤50 ea/cm2
BPD	≤2000 ea/cm2			≤ 500 ea/cm2			--
TSD	≤ 500 ea/cm2			≤ 1000 ea/cm2			--
Trhliny na okrajoch	≤ 3 z, ≤ 1 mm/rok			≤ 4 z, ≤ 2 mm/rok			≤ 5 z, ≤ 3 mm/rok
Polytypové oblasti	žiadne			≤ 20 % plochy			≤ 30 % plochy
Odsadenie okrajov	≤ 3 ka, ≤ 1 mm šírka a hĺbka			≤ 4 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka			≤ 5 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka
Označenie	C-tvár
Balenie	jednotková ingotová kazeta, vákuové balenie