Semicorex poskytuje poloizolačný SiC ingot vysokej čistoty so 4 palcami a 6 palcami. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom oblátok. Náš 4" 6" vysoko čistý poloizolačný SiC ingot má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Špecifikácia 4 palcového poloizolačného ingotu SiC |
||
Položky |
Výrobný stupeň |
Dummy Grade |
Polytyp |
4H |
|
Odpor/ohm ·cm |
TO |
|
Priemer |
100,25±0,25 mm |
|
Hrúbka |
≥15 mm |
|
Chyba orientácie povrchu |
0 ± 0,2° |
|
Primárna orientácia bytu |
[1-100] ± 5,0° |
|
Primárna plochá dĺžka |
32,5±1,5 mm |
|
Vedľajší byt |
90,0°CW od primárnej ±5,0°, kremíkom nahor |
|
Sekundárna plochá dĺžka |
17±1,5 mm |
|
Hustota mikropipe |
≤1 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
Trhliny na okrajoch |
≤ 3 z, ≤ 1 mm/rok |
≤ 5 z, ≤ 3 mm/rok |
Polytypové oblasti |
žiadne |
≤ 5 % plochy |
Odsadenie okrajov |
≤ 3 ka, ≤ 1 mm šírka a hĺbka |
≤ 5 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka |
Označenie |
C-tvár |
|
Balenie |
jednotková ingotová kazeta, vákuové balenie |
Špecifikácia 6-palcového poloizolačného SiC ingotu |
||
Položky |
Výrobný stupeň |
Dummy Grade |
Polytyp |
4H |
|
Odpor/ohm ·cm |
TO |
|
Priemer |
150,25±0,25 mm |
|
Hrúbka |
≥10 mm |
|
Chyba orientácie povrchu |
0 ± 0,25° |
|
Orientácia zárezu |
[1-100] ± 5,0° |
|
Hĺbka zárezu |
1~1,25 mm |
|
Hustota mikropipe |
≤1 ea/cm2 |
≤10 ea/cm2 |
Trhliny na okrajoch |
≤ 3 z, ≤ 1 mm/rok |
≤ 5 z, ≤ 3 mm/rok |
Polytypové oblasti |
žiadne |
≤ 5 % plochy |
Odsadenie okrajov |
≤ 3 ka, ≤ 1 mm šírka a hĺbka |
≤ 5 ka, ≤ 2 mm šírka a hĺbka |
Označenie |
C-tvár |
|
Balenie |
jednotková ingotová kazeta, vákuové balenie |