Ohrievač AlN od spoločnosti Semicorex je navrhnutý tak, aby podporoval a ohrieval kremíkové doštičky. Tento ohrievač vyrobený z vysoko čistého nitridu hliníka (AlN) ponúka rad pokročilých funkcií, ktoré uspokoja potreby rôznych vysoko presných aplikácií, najmä v polovodičovom priemysle.**
Všestrannosť v prevádzkových prostrediach
Jedným z hlavných atribútov ohrievača AlN je jeho schopnosť efektívne fungovať v rôznych prevádzkových prostrediach, vrátane atmosférických a vákuových podmienok. Vďaka pôsobivému rozsahu prevádzkových teplôt až do 1000 °C (1832 °F) zaisťuje rýchle a rovnomerné zahriatie po celej ploche. Vďaka tejto všestrannosti je vhodný pre množstvo aplikácií, od zariadení na výrobu polovodičov až po systémy na vákuové naparovanie, naprašovacie stroje a zariadenia na chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD).
Presné inžinierstvo s procesom spekania
Výrobný proces ohrievača AlN zahŕňa vákuové lisovanie za tepla, čo je podstatne náročnejší proces ako konvenčné beztlakové spekanie. Táto sofistikovaná technika zabezpečuje, že čistota nitridu hliníka ohrievača dosahuje vynikajúcich 99,5 %. Použitím takýchto prísnych výrobných noriem Semicorex zaručuje, že každý ohrievač AlN vykazuje výnimočné mechanické a tepelné vlastnosti a poskytuje spoľahlivý výkon aj v tých najnáročnejších podmienkach.
Výnimočná tepelná vodivosť
Výnimočnou vlastnosťou AlN ohrievača je jeho vysoká tepelná vodivosť, ktorá presahuje 180 W/m*K. Táto vysoká tepelná vodivosť je nástrojom na dosiahnutie vynikajúcej tepelnej rovnomernosti v širokom rozsahu teplôt, čo je kritický faktor pre mnohé vysoko presné aplikácie. Ohrievač môže byť navrhnutý s viacvrstvovou konštrukciou schopnou dodávať až 2 000 W/in² (310 W/cm²), čím sa zabezpečí efektívne a rovnomerné rozloženie tepla. Táto schopnosť je obzvlášť cenná pri spracovaní polovodičov, kde je presná kontrola teploty prvoradá.
Vynikajúca odolnosť proti korózii
Okrem svojich tepelných vlastností sa AlN ohrievač môže pochváliť vynikajúcou odolnosťou proti korózii. Je vysoko odolný voči halogénovým plynom a oxidačnému prostrediu a tiež demonštruje robustnú odolnosť voči väčšine kyslých a zásaditých roztokov. Táto odolnosť zaisťuje dlhodobú životnosť a prevádzkovú stabilitu, dokonca aj v prostrediach, kde je vystavenie korozívnym látkam neustálym problémom. Takáto životnosť znižuje potrebu častých výmen, čím sa znižujú náklady na údržbu a zvyšuje sa celková spoľahlivosť systému.
Aplikácie v high-tech odvetviach
Ohrievač AlN od spoločnosti Semicorex je nenahraditeľný v rôznych high-tech odvetviach vďaka svojim pokročilým vlastnostiam:
Výroba polovodičov: Rovnomerné zahrievanie ohrievača a presné ovládanie ho predurčujú na použitie v zariadeniach na spracovanie polovodičov, čím sa zabezpečuje vysokokvalitná výroba doštičiek.
Systémy vákuového odparovania: Jeho schopnosť pracovať vo vákuovom prostredí pri vysokých teplotách z neho robí vynikajúcu voľbu pre systémy vákuového naparovania, kde je rozhodujúci riadený ohrev.
Naprašovacie stroje: Tepelná vodivosť a odolnosť proti korózii ohrievača AlN zvyšuje účinnosť a životnosť naprašovacích strojov, ktoré sa používajú na poťahovanie substrátov.
Zariadenia na chemické nanášanie pár (CVD): V procesoch CVD, kde sa materiály nanášajú na substráty prostredníctvom chemických reakcií, rovnomerné rozloženie teploty ohrievača zaisťuje konzistentné a vysokokvalitné tenké filmy.
Vylepšený výkon a spoľahlivosť
Dizajn a materiálové zloženie ohrievača AlN prispievajú k jeho zvýšenému výkonu a spoľahlivosti. Čistota nitridu hliníka v kombinácii s prísnym procesom spekania vedie k ohrievaču, ktorý nielenže funguje mimoriadne dobre, ale tiež si zachováva svoju integritu po dlhú dobu. Táto spoľahlivosť je rozhodujúca v prostrediach s vysokými rizikami, kde zlyhanie zariadenia môže viesť k významným prestojom a finančným stratám.
Prispôsobiteľný dizajn
Semicorex chápe, že rôzne aplikácie majú jedinečné požiadavky, a preto ponúka prispôsobiteľné možnosti dizajnu ohrievača AlN. Či už ide o úpravu veľkosti, tvaru alebo výkonu ohrievača, náš tím odborníkov úzko spolupracuje s klientmi na vývoji prispôsobených riešení, ktoré spĺňajú špecifické potreby. Táto úroveň prispôsobenia zaisťuje, že ohrievač AlN sa hladko integruje do existujúcich systémov, čím sa zvyšuje celková účinnosť a výkon.