Keramické skľučovadlo z nitridu hliníka

Keramické skľučovadlo z nitridu hliníka predstavuje špičkové riešenie pre spracovanie polovodičových doštičiek, špeciálne navrhnuté na bezpečné držanie doštičiek na mieste počas rôznych fáz výroby. Toto inovatívne zariadenie, ktoré funguje ako elektrostatické skľučovadlo (ESC), využíva výnimočné vlastnosti keramiky z nitridu hliníka na zabezpečenie presného a spoľahlivého uchytenia plátku.

Keramické skľučovadlo Semicorex z nitridu hliníka využíva elektrostatické sily na pevné uchytenie plátku na jeho povrchu. Dosahuje sa to precízne skonštruovanou doskou s integrovanými elektródami, ktoré sú strategicky predpäté vysokým napätím. Výsledkom je, že medzi doskou a plátkom sa vytvorí elektrostatická prídržná sila, ktorá účinne znehybní plátok na mieste počas štádií spracovania.

Jednou z výnimočných vlastností keramického skľučovadla z nitridu hliníka je jeho pozoruhodná kombinácia vysokej tepelnej vodivosti a izolačných vlastností. Táto jedinečná zmes charakteristík z neho robí ideálnu voľbu materiálu pre aplikácie ESC. Vysoká tepelná vodivosť zaisťuje efektívny odvod tepla, ktorý je rozhodujúci pre udržanie rovnomerného rozloženia teploty v plátku počas spracovania. Jeho výnimočné izolačné vlastnosti zároveň poskytujú elektrickú izoláciu medzi skľučovadlom a plátkom, čím sa minimalizuje riziko elektrického rušenia alebo poškodenia citlivých polovodičových komponentov.

Keramické skľučovadlo z nitridu hliníka ponúka niekoľko výhod oproti tradičným materiálom skľučovadla. Jeho robustná konštrukcia zaisťuje dlhodobú odolnosť a je schopná odolať prísnym požiadavkám prostredia výroby polovodičov. Navyše, jeho kompatibilita s vysokoteplotnými procesmi a odolnosť voči tepelnej rozťažnosti z neho robí nepostrádateľný nástroj na dosiahnutie konzistentných a vysokokvalitných výsledkov spracovania plátkov.