Elektrostatické skľučovadlo E-skľučovadlo

Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck funguje na princípoch elektrostatickej príťažlivosti a ponúka spoľahlivé a presné uchytenie plátku bez potreby mechanických svoriek alebo vákuového nasávania, používané najmä pri leptaní, iónovej impl-

spracovanie polovodičov, PVD, CVD atď. Vďaka prispôsobiteľným rozmerom je prispôsobiteľný širokému spektru aplikácií, čo z neho robí ideálnu voľbu pre spoločnosti, ktoré hľadajú flexibilitu a efektivitu v procesoch výroby polovodičov.

Základnou technológiou elektrostatického skľučovadla E-Chuck typu J-R je jeho schopnosť vytvárať elektrostatickú silu medzi plátkom a povrchom skľučovadla. Táto sila vzniká privedením vysokého napätia na elektródy vložené do skľučovadla, ktoré indukuje náboje na plátku aj skľučovadle, čím sa vytvorí silná elektrostatická väzba. Tento mechanizmus nielen bezpečne drží plátok na mieste, ale tiež minimalizuje fyzický kontakt medzi plátkom a skľučovadlom, čím sa znižuje potenciálna kontaminácia alebo mechanické namáhanie, ktoré by mohlo poškodiť citlivé polovodičové materiály.

Semicorex dokáže vyrobiť produkty na mieru, od 200 mm do 300 mm alebo aj väčšie, v závislosti od požiadaviek zákazníkov. Tým, že ponúka tieto prispôsobiteľné možnosti, ESC typu J-R poskytuje maximálnu flexibilitu pre celý rad polovodičových procesov, vrátane plazmového leptania, chemického nanášania pár (CVD), fyzického nanášania pár (PVD) a implantácie iónov.

Čo sa týka materiálov, elektrostatické skľučovadlo E-Chuck je vyrobené z vysoko kvalitných keramických materiálov, ako je oxid hlinitý (Al2O3) alebo nitrid hliníka (AlN), ktoré sú známe svojimi vynikajúcimi dielektrickými vlastnosťami, mechanickou pevnosťou a tepelnou stabilitou. Táto keramika poskytuje skľučovadlu potrebnú odolnosť, aby odolala náročným podmienkam výroby polovodičov, ako sú vysoké teploty, korozívne prostredie a vystavenie plazme. Okrem toho je keramický povrch vyleštený do vysokého stupňa hladkosti, aby sa zabezpečil rovnomerný kontakt s plátkom, čím sa zvyšuje elektrostatická sila a zlepšuje sa celkový výkon procesu.

Elektrostatické skľučovadlo E-Chuck je tiež navrhnuté tak, aby zvládlo tepelné problémy, s ktorými sa bežne stretávame pri výrobe polovodičov. Riadenie teploty je rozhodujúce počas procesov, ako je leptanie alebo nanášanie, kde môže teplota plátku rýchlo kolísať. Keramické materiály použité v skľučovadle poskytujú vynikajúcu tepelnú vodivosť, pomáhajú efektívne odvádzať teplo a udržiavať stabilnú teplotu plátku.

Elektrostatické skľučovadlo E-Chuck je navrhnuté s dôrazom na minimalizáciu kontaminácie časticami, čo je rozhodujúce pri výrobe polovodičov, kde aj mikroskopické častice môžu viesť k defektom v konečnom produkte. Hladký keramický povrch skľučovadla znižuje pravdepodobnosť priľnutia častíc a znížený fyzický kontakt medzi plátkom a skľučovadlom vďaka elektrostatickému prídržnému mechanizmu ďalej znižuje riziko kontaminácie. Niektoré modely ESC typu J-R tiež obsahujú pokročilé povrchové nátery alebo úpravy, ktoré odpudzujú častice a odolávajú korózii, čím sa zvyšuje životnosť a spoľahlivosť skľučovadla v prostredí čistých priestorov.

Stručne povedané, elektrostatické skľučovadlo typu J-R E-Chuck je všestranné a spoľahlivé riešenie na uchytenie doštičiek, ktoré ponúka výnimočný výkon v rámci širokej škály procesov výroby polovodičov. Jeho prispôsobiteľný dizajn, pokročilá technológia elektrostatického držania a robustné vlastnosti materiálu z neho robia ideálnu voľbu pre spoločnosti, ktoré sa snažia optimalizovať manipuláciu s plátkami pri zachovaní najvyšších štandardov čistoty a presnosti. Či už sa používa pri plazmovom leptaní, nanášaní alebo implantácii iónov, ESC typu J-R poskytuje flexibilitu, odolnosť a účinnosť potrebnú na splnenie náročných potrieb dnešného polovodičového priemyslu. Vďaka svojej schopnosti pracovať v režimoch Coulomb aj Johnsen-Rahbek, zvládať vysoké teploty a odolávať kontaminácii časticami je ESC typu J-R kritickým komponentom pri dosahovaní vyšších výnosov a lepších výsledkov procesu.