Keramická ruka

Keramické rameno Alumina Alumina Alumina je komponent s inžinierom, ktorý je vyvinutý podľa najvyšších špecifikácií pre polovodičové aplikácie. Vyrobené z vysokokvalitného aluminy (al₂o₃), je to robotické rameno, ktoré má jedinečnú kombináciu mechanickej pevnosti, tepelnej stability a chemického odporu. Rameno je navrhnuté nielen na to, aby sa používalo na samotnú manipuláciu s oblátkami, ale musí tiež poskytovať podporu procesu v pokročilých výrobných lokalitách. Musí tiež zabezpečiť, aby sa doštičky prenášali, umiestnili a spracovali bez kontaminácie alebo poškodenia; zlepšenie výnosov a spoľahlivosti procesu.

Aluminaje jednou z technickej keramiky, ktorá nájde najširšie využitie v technickej keramickej oblasti. Hliník je známy svojou tvrdosťou, odolnosťou proti opotrebeniu a stabilite v agresívnych prostrediach. Pre ciele keramickej ramena zvládnuť manipuláciu s oblátkami bez zavedenia kontaminácie, môže využívať vlastnosti hlinitého a poskytovať oveľa vyššiu úroveň rezistencie voči odluvu v dôsledku jeho vysokej čistoty a veľkosti častíc; Preto počas opakovaných pohybov nebude vytvárať nadmerné častice, buď s oblátkami, alebo s polovodičovými substrátmi akéhokoľvek iného druhu.  Hustota a nízka pórovitosť, ktorá tiež hostila ďalej, obmedzila potenciál voľných častíc a zaisťuje, že spĺňa ultra čisté požiadavky na vývojové Fabs polovodičov bez toho, aby sa znížila čistota potrebná na manipuláciu s podubolietmi zariadení.

Aluminamá okrem mechanickej pevnosti výnimočnú tepelnú stabilitu. Keramické rameno hliníka môže vydržať extrémne teploty procesu bez deformácie, praskania alebo straty pevnosti. Táto vlastnosť je ideálna na začlenenie do akéhokoľvek kroku procesu, ktorý zahŕňa vystavenie zvýšeniu teploty, ako je difúzia, oxidácia alebo kroky žíhania. Doštičky budú mať zlepšenú spoľahlivosť prenosu v náročnom procesnom prostredí, pretože si zachováva mechanickú integritu pri tepelnom cykle.

Chemický odpor je ďalším základným pozitívnym pozitívnym keramickým ramenom hlinitého. Pri výrobe polovodičov sa ošetrenia často vykonávajú na doštičkách, ktoré zahŕňajú silné kyseliny, alkalis a ďalšie agresívne chemikálie. Zatiaľ čo kovové komponenty môžu korodovať alebo vylúhovať nečistoty, hliník je chemicky inertný, čo chráni integritu ramena a doštičiek, ktoré spracováva. Z tohto dôvodu predlžuje životnosť komponentu a zároveň znižuje možnosť kontaminácie počas kritických procesov, ako je čistenie mokra alebo chemické ukladanie pary.

Keramické rameno hliníka je navrhnuté so zameraním na kompatibilitu a presnosť. Každé rameno je vyrobené na prísne rozmerové tolerancie, čím sa zabezpečuje presné zarovnanie oblátky a pohyb a kompatibilita s automatizovaným manipuláciou s oblátkami a robotickými systémami. Hladký, leštený povrchový povrch je vybavený nízkym trením s oblátkou, ktoré znižuje pravdepodobnosť poškriabania oblátky, čo je nevyhnutné pre integritu doštičiek/environmentálnej čistoty a zníženie rýchlosti defektu. Tieto inžinierske tolerancie zaisťujú, že ARM pracuje voľne v rýchlo sa rozvíjajúcom priepustnom prostredí a umožňuje ľudské aj plne automatizované pracovné toky polovodičov pre ARM.

Keramické rameno oxidu hliníka siaha nad rámec iba chemického a mechanického výkonu a ovplyvňuje prevádzkovú účinnosť a úspory nákladov na viacerých úrovniach. Osvedčená odolná povaha keramiky umožňuje ramenu prekonať kompozitné materiály, ako sú plasty alebo hliník, pokiaľ ide o dlhovekosť dizajnu pri opakujúcich sa mechanickom zaťažení, a preto znižuje množstvo prevádzkových prestojov a/alebo výmenných nákladov. Schopnosť vydržať tvrdé prostredie zahŕňa čistotu životného prostredia a zároveň vyvoláva menšie prerušenia výroby, čo vedie k zlepšenej konzistentnej výrobe doštičiek, t. J. Výnosu a nakoniec menej šrotu, čo vedie k vyššej NI (návratnosť investícií) pre výrobcov polovodičov.

Možnosti využívaniaAlumina keramikaARM pre polovodičové procesy sú prakticky nekonečné - od pohybujúcich sa doštičiek medzi mokrými lavicami, difúznymi peciami a depozičnými komorámi až po inšpekčné a metrologické nástroje využívajúce substráty. Univerzálnosť tohto produktu umožňuje nielen jeho použitie na aplikácie na manipuláciu s oblátkami, ale aj ďalšie situácie automatizácie, keď sú možné aj presnosť, čistotu a spoľahlivosť. Polovodičový priemysel sa neúprosne posúva smerom k menším uzlom a zvýšenej zložitosti výroby zariadení, a keďže priemysel naďalej vyžaduje lepšie riešenia zaobchádzania, ktoré sú spoľahlivé a nekontamináčné, keramické robotické rameno vytvára jasnú cestu vpred.