Prsty

Semicorex SIC prsty sú špecializované časti, ktorých primárne aplikácie sú v zariadení na spracovanie polovodičov, konkrétne v systémoch manipulácie a podpory doštičiek. Ich primárnou funkciou je podpora alebo držať doštičky zavedené počas procesov, ako je epitaxia, implantácia iónov alebo tepelné ošetrenie, v ktorej je kritická rozmerová stabilita alebo čistota, spolu so spoľahlivosťou. Karbid kremíka kombinuje mechanickú pevnosť s vynikajúcou tepelnou a chemickou rezistenciou a tieto vlastnosti sú potrebné v pokročilých výrobných líniách polovodiča, takže v takýchto aplikáciách sú siC prsty nevyhnutné.

Predajná funkciakarbid kremíkaAko materiál je schopnosť odolávať extrémne vysokým prevádzkovým teplotám bez straty mechanickej integrity. V polovodičových procesoch, ako je epitaxiálny rast, doštičky zažívajú náhle a dlhšie obdobia zvýšené teploty. Phasy SIC po zapojení si zachovajú svoje zarovnanie a pevnosť počas cyklov s vysokou teplotou, takže doštičky zostávajú na mieste, čím sa minimalizuje pohyb, aby sa predišlo deformácii alebo vyrovnaniu, aby sa udržala primeraná jednotnosť procesu na dosiahnutie prijateľného výnosu zariadenia. Prsty SIC poskytujú oveľa dlhšiu službu ako typické keramické alebo kovové podpory, pričom sú oveľa konzistentnejšie pri vysokých teplotách.

Kľúčovou výhodou prstov SIC je ich vynikajúca chemická odolnosť. Všetky polovodičové aplikácie zahŕňajú reaktívne plyny, vystavenie plazmám a vystavenie korozívnym chemikáliám. Korroditeľný alebo rozpadnutý materiál reaguje uvoľňovaním častíc alebo kontaminantov, ktoré môžu zhoršiť kvalitu oblátky.Karbid kremíkaMá chemicky inertný povrch, ktorý nebude pripevniť ani nereagovať na agresívne chemikálie, vytvára prostredie čistého procesu a výrazne znížené riziko kontaminácie. To zvyšuje trvanlivosť nástroja na manipuláciu s oblátkami, ktorý priamo prispieva k stabilným a opakovateľným výsledkom procesu, čo je rozhodujúce pri výrobe polovodičových zariadení s vysokým výnosom.

Presnosť je ďalším kľúčovým faktorom pri návrhu prsta SIC. Manipulácia s oblátkami zahŕňa komponenty s extrémne prísnymi toleranciami, mikrometre môžu spôsobiť nesprávne zarovnanie oblátok, zvýšiť potenciál prerušenia oblátky alebo spôsobiť nezrovnalosti v procesoch. Využívaním najnovších technológií obrábania a leštenia môžu byť prsty SIC vyrábané s najvyššími rozmerovými toleranciami a povrchovou plochou a hladkou povrchovou úpravou. Zaručuje to stabilnú, relatívne zotrvačnú platformu bezplatnej platformy na podporu oblátok so zníženým potenciálom tvorby častíc a opakovaným výkonom aplikácií na manipuláciu s oblátkami v automatickom zariadení na spracovanie polovodičov.

Okrem základných materiálových výhod sic prstov môžu byť tiež špecifické, aby vyhovovali každému zariadeniu alebo požiadavke na proces. Rôzne veľkosti oblátky, rôzne návrhy reaktorov a rôzne manipulácie s operátormi vyžadujú konkrétne vyrábané riešenia. SIC prsty sa môžu vyrobiť v akejkoľvek geometrii alebo rozmere a povrchové ošetrenie môže byť použité ako vhodné pre konkrétne aplikácie.

SIC prsty tiež znižujú prevádzkové náklady v dôsledku ich dlhej použiteľnej životnosti (znížená frekvencia výmeny) a znížené presídlenia v dôsledku kontaminácie zlyhania alebo ukladania z tepelného alebo chemického stresu. Vďaka trvanlivosti a spoľahlivosti pre výrobcov polovodičov vedie využitie prstov SIC k zvýšeniu dostupnosti, nižšie spotrebiteľské náklady a celkovej zlepšenej efektívnosti procesu.

Prakticky sa prsty SIC používajú väčšinou v rastových reaktoroch epitaxie, pretože poskytujú stabilné držanie oblátok počas extrémnych tepelných a chemických procesov. Používajú sa tiež v iónových implantátoch alebo v žíhach s vysokou teplotou, kde je mechanická stabilita, ako aj chemická inertnosť. V rámci aplikácií je konzistentný výkon tiež využívaný pri zaobchádzaní s oblátkami pri poskytovaní jednotnosti procesu, integrity a kvality oblátok.

Semicorex sic prsty, sú silnými príkladmi výhodmateriál z karbidu kremíka Pre vysokú teplotu, chemické odolné v oblasti chemikálií, presné komponenty, ktoré sú vložité, komponenty polovodičov. Materiálne prostredie SIC prstov poskytuje vysokú teplotnú stabilitu, výnimočnú chemickú odolnosť a schopnosť vyrábať štandardy s vysokou presnosťou. Robustná a prispôsobiteľná zložka je rozhodujúca pre dosiahnutie stabilnej výroby a zlepšenia výnosu a nákladovej efektívnosti pre výrobcov polovodičov. Prsty SIC sú naďalej pokročilým a spoľahlivým riešením pre FAB zamerané na stabilitu procesu a zabezpečenie kvality.