Rameno

Arm Semicorex SIC je špecializované zariadenie, ktoré bolo vyvinuté na manipuláciu s oblátkami s maximálnou spoľahlivosťou a presnosťou. Zbrane prenosu doštičiek, podobne ako rameno SIC, sa objavujú v pokročilých zariadeniach na výrobu polovodičov, ako sú epitaxiálne reaktory, iónové implantačné systémy, tepelné spracovanie atď. Zložky prenosu doštičiek sú neoddeliteľnou súčasťou presného pohybu doštičiek v zložitých prostrediach manipulácie s doštičkami na zabezpečenie bezpečného a presného prenosu spracovaných doštičiek. Skonštruované pomocou vysokej bezpečnostikarbid kremíkav kombinácii s vlastnosťami surovín 

Výnimočná tepelná a chemická stabilita a vynikajúca kontrola obrábania robia z ramena SIC dôveryhodným riešením pre budúcu výrobu polovodičov.

SIC Arm má svoj výnimočný výkon v extrémnych tepelných prostrediach. V epitaxiálnom raste, ako aj iných vysokoteplotných procesoch, môžu byť komponenty manipulácie s oblátkami vystavené trvalému tepla, ktoré ľahko zhoršujú charakteristiky konvenčného materiálu. Karbid kremíka si zachováva pevnosť aj rozmernú presnosť (konečné rozmerové tolerancie) pri vysokých teplotách, čo zaisťuje, že doštičky môžu zostať presne sedieť počas prenosu alebo spracovania a prakticky eliminovať nesprávne vyrovnanie oblátok, vojnovú stránku alebo kontamináciu. Keramika s výnimočným výkonom produktu SIC; Rovnako ako rameno SIC neoxiduje, skresľuje ako kov, ani nemá výkonnostné vlastnosti zlyhania, ako je keramika, ktoré sú stresovými trhlinami.

Chemický odpor je ďalšou definujúcou vlastnosťou ramena SIC. V polovodičových prostrediach sú bežné korozívne plyny, reaktívne chemikálie a expozícia v plazme. Manipulačné rameno, ktoré sa za takýchto podmienok zhoršuje, nielen riskuje mechanické zlyhanie, ale aj kontamináciu doštičiek.Karbid kremíkaPoskytuje chemicky inertný povrch, ktorý odoláva týmto agresívnym podmienkam. Výsledkom je veľmi spoľahlivý komponent, ktorý udržiava integritu a čistotu povrchu a zabezpečuje doštičky pred nečistotami, ktoré by mohli ohroziť výkon zariadenia. Táto trvanlivosť významne znižuje prestoje zariadenia, znižuje frekvenciu výmeny a zvyšuje konzistentnosť procesu.

Okrem jej materiálnej odolnosti spĺňa SIC Arm aj vysoký stupeň presnosti obrábania. Manipulácia s oblátkami si vyžaduje presnosť mikrometru; Tolerancie, ktoré sú dokonca mierne mimo špecifikácie, môžu spôsobiť zmeny v geometrii alebo povrchovej úprave, ktoré môžu spôsobiť vyššie riziká pri rozbití doštičiek alebo nesprávneho vyrovnania doštičiek. Použitím moderných výrobných technológií sa ramená SIC vyrábajú so správnymi toleranciami, rovinnosťou a hladkými povrchmi. Byť vysoko presnými aplikáciami je ideálny na zabezpečenie konzistentného umiestnenia doštičiek a opakovateľného výkonu počas tisícov manipulačných cyklov, čo je ideálne pre veľkoobjemovú polovodičovú výrobu, ktorá má náročné špecifikácie.

Všestrannosť je ďalšou výhodou zbraní SIC. Rôzne polovodičové nástroje a procesy vyžadujú ramená rôznych geometrií, veľkostí a návrhov. Pretože ramená SIC je možné upraviť tak, aby začlenili tieto špecifické konštrukčné charakteristiky, môžu sa ľahko zmestiť do širokej škály systémov, či už ide o epitaxný nástroj, kus iónového implantačného zariadenia alebo reaktor na spracovanie tepelného spracovania. Povrchové úpravy, konštrukčné konštrukcie a povrchové úpravy môžu byť tiež upravené a skonštruované tak, aby poskytovali najlepší výkon, pokiaľ ide o konkrétnu aplikáciu.

SIC Arms má tiež prevádzkovú efektívnosť. Vysoká trvanlivosť a spoľahlivosť SIC Priemerné výmeny sú zriedkavé a minimalizujú sa prestoje; Obidve znamenajú nižšie dlhodobé náklady na údržbu. Pre výrobu polovodičové Fabs to znamená realizáciu lepšej priepustnosti, potenciál pre väčšiu stabilitu vo výrobe a vyššie výnosy zariadenia.

Army SIC zaznamenali od svojho zavedenia v polovodičovej komunite rozsiahle použitie konkrétne v systémoch prenosu doštičiek, kde musia odolať mechanickým napätiam a veľmi prísnym podmienkam spracovania. Či už ide o presúvanie doštičiek na reaktory epitaxie, držanie ich na mieste počas implantácie iónov alebo ich prenos cez prostredia plynu alebo tepelného spracovania, rameno SIC poskytuje bezpečné, presné a kontaminácie bez kontaminácie. Spoľahlivosť je zjavná zavedením Arms SIC do portfólia moderného polovodičového zariadenia.

Arm Semicorex Sic je úspešnou kombináciou požadovaných vlastností pokročilýchmateriál z karbidu kremíka, presné inžinierstvo a stabilita s vysokou teplotou. Kombinácia chemickej stability, schopnosti opracovať a presnú výrobu spôsobuje, že rameno SIC je vhodné na zabezpečenie spoľahlivého manipulácie s oblátkami v najťažších semi vodičských procesoch. Arm SIC je prispôsobiteľný a trvanlivý na spotrebiteľské výhody koncových používateľov pre manipuláciu s oblátkami a poskytuje výhody v dlhodobom prevádzkovom výkone, pokiaľ ide o efektívnosť, výnos a stabilitu procesu. Výrobcovia, ktorí hľadajú moderné a špičkové systémy manipulácie s oblátkami alebo dokonca z riešení manipulácie s oblátkami, sa pozerajú a spoliehajú sa na rameno SIC ako osvedčený, vysoko výkonný a schopný systém prenosu a manipulácie s oblátkami pre pokročilé požiadavky polovodičového priemyslu.