Ohrievače nitridu hliníka

Semicorex hliníkové ohrievače nitridov sú najmodernejšie keramické vykurovacie prvky určené pre aplikácie, ktoré si vyžadujú vysokú tepelnú vodivosť, elektrickú izoláciu a výnimočnú trvanlivosť. Tieto ohrievače, vyrobené z keramiky nitridu z hliníka, poskytujú rýchle a rovnomerné zahrievanie, vďaka čomu sú ideálne pre vysoko presné prostredia, ako je spracovanie polovodičov, lekárska diagnostika a pokročilé analytické prístroje.

Ohrievače nitridov z hliníka sú kľúčové komponenty v polovodičových depozičných zariadeniach tenkého filmu. Priamo sa aplikujú na procesnú komoru a v priamom kontakte s oblátkou. Nielenže nosia oblátku, ale tiež zabezpečujú, že oblátka získa a 

stabilná a jednotná procesná teplota. Táto vlastnosť je nevyhnutná pre vysoko presné reakcie na povrchu oblátky a na generovanie rovnomerných tenkých filmov.

Ohrievače nitridu hliníka zvyčajne obsahujú keramický substrát s zaťažením oblátkov a valcové podporné telo, ktoré ho podporuje na chrbte. Okrem odporového zahrievacieho obvodu na zahrievanie sú vo vnútri alebo na povrchu keramického substrátu k dispozícii aj RF elektróda a elektrostatická skľučujúca elektróda a ďalšie vodiče.

Tenké depozičné vybavenie zvyčajne používa keramické materiály na základehliníkový nitrid (ALN)Pretože zahŕňa vysokorýchlostné prostredie. Dôvod, prečo sú ohrievače nitridu hliníka uprednostňované pri výrobe polovodičov, je hlavne spôsobený ich jedinečnými fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami. Hliníkový nitrid má nielen vysokú tepelnú vodivosť a môže dosiahnuť rýchle zahrievanie a chladenie v krátkom čase, ale má tiež dobrú elektrickú izoláciu a mechanickú pevnosť, zabezpečujúc stabilitu a spoľahlivosť ohrievača. Okrem toho je koeficient tepelnej expanzie nitridu hliníka podobný ako v prípade kremíka, ktorý pomáha znižovať vplyv tepelného napätia na doštičku a zlepšovať výťažok procesu.

Všeobecne povedané,keramické ohrievačesa používajú hlavne v tenkých depozičných zariadeniach. Pretože zahŕňa vysokoteplotné procesy, použitý keramický materiál je hlavne nitrid hliníka; Elektrostatické skľučenia sa používajú hlavne v leptaní zariadení a použitý keramický materiál je hlavne oxid hlinitý. S vývojom polovodičovej technológie dochádza k prekrývaniu medzi keramickými ohrievačmi a elektrostatickými skľučovkami. Napríklad keramické ohrievače používané v zariadeniach na ukladanie tenkých filmov sú vybavené elektrostatickými skľučovkami, ktoré majú duálne funkcie vysokoteplotného zahrievania a elektrostatickej adsorpcie. Elektrostatické skľučenia používané v leptaní zariadení tiež začínajú zahŕňať vysokoteplotné procesy a keramický materiál sa musí zmeniť z oxidu hlinitého na nitrid hliníka.