GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je neoddeliteľnou súčasťou výroby polovodičov a umožňuje stabilnú a spoľahlivú podporu počas kritických procesov, ako je nanášanie, leptanie a litografia. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck zaisťuje efektívne odvádzanie tepla, pričom udržuje rovnomerné rozloženie teploty na plátku, aby sa zabránilo tepelným gradientom, ktoré by mohli spôsobiť chyby. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je k dispozícii v rôznych veľkostiach a konfiguráciách, aby vyhovoval rôznym rozmerom doštičiek a požiadavkám na spracovanie a ponúka flexibilitu pre rôzne potreby výroby polovodičov.

Aplikácie:

Epitaxný rast: GaN-on-Si Epi Wafer Chuck poskytuje stabilnú platformu pre rast kvalitných GaN vrstiev na kremíkových substrátoch, GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je nevyhnutný pre vysokovýkonné elektronické a optoelektronické zariadenia.

Leptanie a nanášanie: Uľahčuje rovnomerné odstraňovanie alebo nanášanie materiálu, čo je kľúčom k dosiahnutiu požadovaných štrukturálnych a elektrických vlastností zariadení.

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je nepostrádateľným nástrojom pre výrobcov polovodičov, ktorých cieľom je vyrábať špičkové zariadenia na báze GaN, ktoré ponúkajú bezkonkurenčný výkon v oblasti presnosti, stability a odolnosti.