Grafitový susceptor s povlakom SiC

Grafitový susceptor Semicorex s povlakom SiC je základným komponentom navrhnutým pre procesy kremíkovej epitaxie v aplikovaných materiáloch a jednotkách LPE (Liquid Phase Epitaxy). Tento susceptor vyrobený z vysokokvalitného grafitového materiálu potiahnutého karbidom kremíka (SiC) zaisťuje vynikajúci výkon a dlhú životnosť v prostredí výroby polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Povlak SiC na grafitovom susceptore s povlakom SiC slúži na viaceré účely. Po prvé, poskytuje zvýšenú tepelnú stabilitu, čo umožňuje presnú kontrolu nad teplotnými gradientmi počas procesov epitaxného rastu. Táto stabilita je rozhodujúca pre dosiahnutie rovnomerných a vysokokvalitných kremíkových vrstiev v polovodičových doštičkách. Povlak SiC na grafitovom susceptore s povlakom SiC ponúka vynikajúcu odolnosť proti chemickej korózii a tepelnému šoku, čím zabezpečuje integritu susceptora aj pri náročných procesných podmienkach. Táto odolnosť sa premieta do predĺženej prevádzkovej životnosti a znížených prestojov, čo v konečnom dôsledku prispieva k vyššej produktivite a nákladovej efektívnosti zariadení na výrobu polovodičov.

Konštrukcia valca grafitového susceptora s povlakom SiC uľahčuje efektívne nakladanie a vykladanie plátkov, čím sa optimalizuje priepustnosť v procesoch epitaxie. Okrem toho je grafitový susceptor s povlakom SiC prispôsobený produkt, ktorý možno prispôsobiť špecifickým požiadavkám a preferenciám výrobcov polovodičov, čím sa zabezpečí kompatibilita s rôznymi konfiguráciami zariadení a procesnými parametrami.