Wafer Acceptor

Semicorex Wafer Susceptor je odborne vyrobený z grafitu a potiahnutý karbidom kremíka (SiC), aby spĺňal náročné podmienky modernej výroby polovodičov.

Pri epitaxných procesoch je absolútne nevyhnutné udržiavať stabilné a kontrolované prostredie. Susceptor doštičiek slúži ako základná platforma, na ktorú sa doštičky umiestňujú počas nanášania, pričom spĺňajú presné požiadavky na rovnomernosť teploty, chemickú inertnosť a mechanickú pevnosť, aby sa dosiahli vysokokvalitné epitaxné vrstvy.

Výber grafitu ako základného materiálu pre plátkový susceptor je spôsobený jeho vynikajúcou tepelnou vodivosťou a mechanickými vlastnosťami. Schopnosť grafitu odolávať vysokým teplotám pri zachovaní štrukturálnej integrity je rozhodujúca vo vysokoteplotnom prostredí epitaxných reaktorov. Tepelná vodivosť grafitu navyše zaisťuje efektívnu distribúciu tepla cez plátok, čím sa znižuje riziko teplotných gradientov, ktoré by mohli viesť k defektom v epitaxnej vrstve.

Na zvýšenie výkonu doštičkového susceptora je na grafitový základ odborne aplikovaný povlak z karbidu kremíka (SiC). SiC je vysoko odolný materiál s vynikajúcou chemickou odolnosťou, vďaka čomu je ideálny na použitie v polovodičovom prostredí, kde sú často prítomné reaktívne plyny. Povlak SiC poskytuje ochrannú bariéru, ktorá chráni grafit pred potenciálnymi chemickými reakciami, zaisťuje dlhú životnosť plátkového susceptora a udržiava čisté prostredie v reaktore.

Semicorex Wafer Susceptor vyrobený z grafitu potiahnutého SiC je nepostrádateľným komponentom v procesoch epitaxie polovodičov. Vďaka kombinácii tepelných a mechanických vlastností grafitu s chemickou a tepelnou stabilitou karbidu kremíka je ideálne vhodný pre prísne požiadavky modernej výroby polovodičov. Jednovrstvový dizajn ponúka presnú kontrolu nad procesom epitaxie, čo prispieva k výrobe vysokokvalitných polovodičových zariadení. Tento susceptor zabezpečuje, že s doštičkami sa manipuluje s maximálnou starostlivosťou a presnosťou, výsledkom čoho sú vynikajúce epitaxné vrstvy a výkonnejšie polovodičové produkty.