ICP grafit potiahnutý kremíkom a uhlíkom

Silicon Carbon Coated Graphite od spoločnosti Semicorex je ideálnou voľbou pre náročnú manipuláciu s plátkami a procesy nanášania tenkých vrstiev. Náš produkt sa môže pochváliť vynikajúcou odolnosťou voči teplu a korózii, rovnomernou tepelnou rovnomernosťou a optimálnymi vzormi laminárneho prúdenia plynu.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Nosiče plátkov používané pri spracovaní epitaxného rastu musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex ICP Silicon Carbon Coated Graphite Susceptory sú navrhnuté špeciálne pre tieto náročné aplikácie epitaxných zariadení. Náš produkt je navrhnutý tak, aby odolal vysokým teplotám a drsnému chemickému čisteniu, čím zaisťuje dlhú životnosť a optimálne výsledky.
Náš grafit potiahnutý kremíkom a uhlíkom ICP je navrhnutý tak, aby dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečil rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste sa dozvedeli viac o našom grafite ICP s kremíkovým uhlíkom.

Parametre grafitu ICP s kremíkovým uhlíkom

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300