ICP nosič leptania potiahnutý SiC

Semicorex SiC Coated ICP Etching Carrier navrhnutý špeciálne pre epitaxné zariadenia s vysokou odolnosťou voči teplu a korózii v Číne. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Nosiče plátkov používané vo fázach nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo pri spracovaní plátkov, ako je leptanie, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva vysoko čistý nosič na leptanie ICP s povlakom SiC, ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť. Jemný kryštálový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, ktorý je rozhodujúci pre manipuláciu, pretože nedotknuté doštičky sú v kontakte so susceptorom na mnohých miestach po celej svojej ploche.

Náš nosič na leptanie ICP s povlakom SiC je navrhnutý tak, aby sa dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečila sa rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.

Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom nosiči na leptanie ICP s povlakom SiC.

Parametre ICP nosiča leptania potiahnutého SiC

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300