Čistenie plátku sa vzťahuje na proces odstraňovania časticových kontaminantov, organických kontaminantov, kovových kontaminantov a prírodných oxidových vrstiev z povrchu plátku pomocou fyzikálnych alebo chemických metód pred polovodičovými procesmi, ako je oxidácia, fotolitografia, epitaxia, difúzia......
Čítaj viacKeramika z karbidu kremíka patrí medzi najpoužívanejšie materiály v stavebnej keramike. Vďaka svojej relatívne nízkej tepelnej rozťažnosti, vysokej špecifickej pevnosti, vysokej tepelnej vodivosti a tvrdosti, odolnosti proti opotrebovaniu a korózii, a čo je najdôležitejšie, ich schopnosti udržiavať ......
Čítaj viacPolovodičové materiály sú materiály s elektrickou vodivosťou medzi vodičmi a izolantmi pri izbovej teplote, ktoré sa široko používajú v oblastiach, ako sú integrované obvody, komunikácia, energetika a optoelektronika. S vývojom technológie sa polovodičové materiály vyvinuli z prvej generácie na štvr......
Čítaj viacOhniskové krúžky sú základnými komponentmi na zabezpečenie rovnomernosti a stability procesov leptania polovodičov. Prostredníctvom presného ovládania elektrických a tepelných polí môžu zaostrovacie krúžky koncentrovať plazmu na povrchu plátku, čím sa zabezpečia konzistentné výsledky leptania na vše......
Čítaj viacKarbid kremíka má dobrú chemickú stabilitu a odolá rôznym vysoko korozívnym kyslým a alkalickým médiám, vďaka čomu je vhodný pre mechanické tesnenia v korozívnych médiách. Korózne opotrebovanie je hlavnou formou zlyhania materiálov trecích párov. Za tepla lisovaný spekaný karbid kremíka vytvára na s......
Čítaj viacPoruchy častíc označujú drobné časticové inklúzie vo vnútri alebo na polovodičových doštičkách. Môžu poškodiť štrukturálnu integritu polovodičových zariadení a spôsobiť elektrické poruchy, ako sú skraty a prerušené obvody. Keďže tieto problémy spôsobené defektmi častíc môžu vážne ovplyvniť dlhodobú......
Čítaj viac