Semicorex PSS leptací nosič na spracovanie plátkov je špeciálne navrhnutý pre náročné aplikácie epitaxných zariadení. Náš ultračistý grafitový nosič je ideálny pre fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je MOCVD, epitaxné susceptory, palacinkové alebo satelitné platformy a spracovanie doštičiek, ako je leptanie. PSS leptací nosič na spracovanie plátkov má vysokú tepelnú odolnosť a odolnosť proti korózii, vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla a vysokú tepelnú vodivosť. Naše produkty sú cenovo výhodné a majú dobrú cenovú výhodu. Obstarávame mnohé európske a americké trhy a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Podnos PSS na leptanie na spracovanie plátkov od spoločnosti Semicorex je navrhnutý pre drsné prostredie, ktoré si vyžaduje epitaxný rast a procesy manipulácie s plátkami. Náš ultračistý grafitový nosič je navrhnutý tak, aby podporoval doštičky počas fáz nanášania tenkých vrstiev, ako sú MOCVD a epitaxné susceptory, palacinky alebo satelitné platformy. Nosič potiahnutý SiC má vysokú odolnosť voči teplu a korózii, vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla a vysokú tepelnú vodivosť. Naše produkty sú cenovo výhodné a ponúkajú dobrú cenovú výhodu.
Parametre nosiča PSS leptania na spracovanie plátkov
Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Kryštálová štruktúra |
FCC β fáza |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Veľkosť zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃) |
430 |
Tepelná expanzia (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
Vlastnosti nosiča PSS na leptanie na spracovanie plátkov
- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt