RTP grafitová nosná doska

Grafitová nosná doska Semicorex RTP je dokonalým riešením pre aplikácie spracovania polovodičových plátkov, vrátane epitaxného rastu a spracovania plátkov. Náš produkt je navrhnutý tak, aby ponúkal vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, čím zaisťuje, že epitaxné susceptory sú vystavené depozícii s vysokou odolnosťou voči teplu a korózii.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Náš produkt obsahuje vysoko čistý grafit potiahnutý SiC, ktorý ponúka vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla, čím zaisťuje, že nosič potiahnutý SiC má hladký povrch, bez trhlín a delaminácie. Naša RTP grafitová nosná doska je jemne potiahnutá karbidom kremíka, čo zaisťuje, že povrch je hladký a bez akýchkoľvek defektov. Tento produkt je vysoko odolný voči drsnému chemickému čisteniu a je navrhnutý tak, aby sa zabránilo vzniku trhlín a delaminácie.
Ponúkame cenovú výhodu, ktorej sa naši konkurenti nemôžu rovnať, a sme odhodlaní stať sa vaším dlhodobým partnerom v Číne.
S našou RTP grafitovou nosnou doskou si môžete byť istí vynikajúcim výkonom, vynikajúcou tepelnou odolnosťou a tepelnou rovnomernosťou. Nosič potiahnutý SiC je navrhnutý tak, aby odolal vysokým teplotám a je vysoko odolný voči chemickému čisteniu, vďaka čomu vydrží mnoho rokov. Náš produkt je tiež navrhnutý tak, aby sa dal ľahko používať, takže je ideálny pre nových aj skúsených používateľov.
V Semicorex sme sa zaviazali poskytovať našim zákazníkom vysokokvalitné produkty a služby. Používame len tie najlepšie materiály a naše produkty sú navrhnuté tak, aby spĺňali najvyššie štandardy kvality a výkonu. Naša RTP grafitová nosná doska nie je výnimkou. Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o tom, ako vám môžeme pomôcť s vašimi potrebami spracovania polovodičových doštičiek.

Parametre RTP grafitovej nosnej dosky

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti RTP grafitovej nosnej dosky

Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.