SiC keramické pádlo

Keramická lopatka Semicorex SiC je pokročilá časť, ktorá bola vyvinutá pre aplikácie vysokoteplotných polovodičových pecí, ako je oxidácia a difúzia. Lopatka slúži ako konzolová podpora na držanie a pohyb plátkov pri vysokých teplotách. Keramická lopatka Semicorex SiC poskytuje vysoko čisté keramické komponenty s vysokou pevnosťou pri vysokoteplotných procesoch, ktoré si vyžadujú spoľahlivosť, stabilitu a výkon náročný vo výrobnom procese.

Lopatky sú vyrobené z vysokej čistotykarbid kremíka (SiC)Spracovanie polovodičov si vyžaduje ultračisté prostredie, pretože aj stopové množstvá nečistôt môžu ovplyvniť výnos a správanie zariadení. SiC materiál použitý v lopatkách má chemicky naparovaný (CVD) SiC povlak, ktorý podporuje výnimočne vysokú čistotu materiálu a zároveň minimalizuje kovovú kontamináciu. SiC keramické lopatky zostávajú čisté a stabilné po celú dobu životnosti. Ako konzolové podpery musia lopatky poskytovať bezpečnú oporu pre nosiče plátkov alebo člnov počas vkladania a vyberania z pece. Kvôli

Ďalšou dôležitou charakteristikou keramických lopatiek SiC je ich vynikajúci výkon pri vysokých teplotách. Vďaka bodu topenia SiC 2700+C si lopatky zachovávajú pevnosť a mechanickú stabilitu pri vystavení vysokej teplote

v priebehu času. Tepelné vlastnosti obmedzujú deformáciu a praskanie materiálu počas opakovaných cyklov zahrievania a chladenia a zároveň poskytujú dlhú životnosť vo výrobných prostrediach.

Spracovanie polovodičov si vyžaduje ultračisté prostredie, pretože aj stopové množstvá nečistôt môžu ovplyvniť výnos a správanie zariadení. SiC materiál použitý v lopatkách má chemicky naparovaný (CVD) SiC povlak, ktorý podporuje výnimočne vysokú čistotu materiálu a zároveň minimalizuje kovovú kontamináciu. SiC keramické lopatky zostávajú čisté a stabilné po celú dobu životnosti. Ako konzolové podpery musia lopatky poskytovať bezpečnú oporu pre nosiče plátkov alebo člnov počas vkladania a vyberania z pece. KvôliSiCsvojou vlastnou pevnosťou a tuhosťou majú dobré nosné vlastnosti s minimálnou deformáciou, čo je nevyhnutné pre správnu manipuláciu s plátkami a ich zarovnanie. V oxidačných a difúznych peciach môže korozívna atmosféra časom napadnúť a degradovať tradičné materiály, ale SiC má schopnosť zachovať si svoju chemickú stabilitu, čím sa predlžuje životnosť lopatky. To má za následok dramatické zníženie nákladov na údržbu a výmenu, pretože lopatky nie je potrebné vymieňať ani opravovať takmer tak často.

Okrem výkonu existuje flexibilita pri prispôsobovaní lopatiek pre špecifické zariadenia a procesy. Rozmery, tolerancie a povrchová úprava môžu byť flexibilné, aby sa zabezpečila kompatibilita medzi dizajnom pece a akýmkoľvek iným systémom na manipuláciu s plátkami. Schopnosť dosiahnuť vysoký stupeň rozmerovej presnosti s presným opracovaním keramiky tiež umožní vyrábať lopatky tak, aby spĺňali zložité geometrie. Celá táto škála funkcií má zabezpečiť bezproblémovú prevádzku a jednoduchú integráciu do existujúcich výrobných liniek.

SiC keramikalopatky sú so svojou kombináciou vysokej čistoty, tepelnej stability, mechanickej pevnosti a chemickej odolnosti základnými materiálmi v procesoch oxidácie a difúzie polovodičov. Tým, že poskytujú stabilnú a čistú platformu na prenos plátkov, priamo prispievajú k zlepšeniu výťažnosti, konzistentnosti procesu a celkovej efektívnosti výroby.