SiC pádla

Lopatky Semicorex SiC sú „nosiče“ plátkov, ktoré dostávajú plátky do pecí teplejších ako 1000 stupňov Celzia. Toto je ich kľúčová výhoda: vysoká čistota, stabilita pri vysokých teplotách, aby sa zachovala mechanická tuhosť pri preprave vzorky v extrémnych prostrediach. Vysoko čisté materiály sú účinné na to, aby zabránili kontaminácii plátku kovovými nečistotami; tak isto aj vysoká teplotná stabilitakarbid kremíka, pretože si zachová chemickú stabilitu pri teplotách spracovania, ktoré zabraňujú úniku kovových nečistôt alebo častíc z kontaminácie plátku, čím sa zabezpečí stabilný výťažok plátku. nakoniec,konzolové pádlasú tiež kompatibilné s integrovanými systémami prenosu plátkov, čím sa ďalej znižuje závislosť od ľudí a zvyšuje sa priepustnosť.

Lopatky SiC sú jedinečným komponentom nosiča, špeciálne na prepravu a integráciu polovodičových plátkov do dávkového pracovného zaťaženia v procesoch, ako je okrem iného vysokoteplotná oxidácia a difúzia. Vyrobené s vysokou čistotoukarbid kremíka (SiC)Lopatky SiC poskytujú tepelnú stabilitu, mechanickú pevnosť a chemickú odolnosť na zabezpečenie stabilnej prepravy nad teplotami 1000 °C. Lopatky SiC sú potrebné na spracovanie plátkov: zaistia, že s krehkými substrátmi sa dá primerane manipulovať pri zachovaní integrity a konzistencie počas procesu oxidácie, difúzie a žíhania.

Pádla SiC, navrhnuté tak, aby boli robustné a spoľahlivé, sú konzolové rameno, ktoré drží lodičky s oblátkami alebo stohy oblátok. Lopatka podporuje doštičky počas ich vkladania alebo vyberania z procesnej komory. Bežné materiály pri týchto vysokých teplotách zlyhávajú v dôsledku deformácie, deformácie alebo chemickej degradácie. Mechanická stabilita a štrukturálna integrita karbidu kremíka umožňuje lopatke prežiť niekoľko tepelných cyklov bez straty tvaru alebo funkcie. Táto schopnosť je dôležitá pre udržanie zarovnania pece, zabezpečenie, aby sa plátky počas procesu nepoškodili, a minimalizáciu drahých prestojov.

Tepelná stabilita lopatiek SiC je doplnená ich vynikajúcou chemickou odolnosťou voči reaktívnym plynom, ktoré sa zvyčajne prejavujú v oxidačných a difúznych procesoch (napr. kyslík, chlór a iné agresívne látky pri vysokej teplote). Mnohé materiály sa zničia alebo kontaminujú, keď sú vystavené vysokej teplote a kyslíku. Karbid kremíka je chemicky inertný a jeho hustá mikroštruktúra zaisťuje, že nedôjde k chemickým reakciám, čím poskytuje štrukturálnu integritu lopatky a čisté prostredie pre plátok. Výsledné riziko kontaminácie je obmedzené na minimum pre výrobcov polovodičov, ktorí pracujú na niektorých z najpokročilejších procesných uzlov, pre ktoré dokonca aj stopové prvky kontaminantov môžu spôsobiť významné zmeny vo výkone zariadenia.

Mechanická integrita spojená s lopatkami SiC tiež poskytuje hodnotu pri manipulačných procesoch. Konzolová štrukturálna forma vyžaduje materiál, ktorý dokáže udržať váhu stohu vrstiev a neohýba sa ani neklesá. Veľmi vysoký modul karbidu kremíka a veľmi vysoká tvrdosť z neho robia dobrý predpoklad pre mechanickú konštrukčnú funkciu, ktorá je potrebná. SiC pádlo si zachováva rovinnosť a štruktúru aj pri zaťažení doštičkami. To znamená neustálu kontrolu pece a jej podmienok počas dlhých výrobných období.