SiC Dummy Wafer

Kľúčové vlastnosti SiC dummy oblátky

Všestranné testovanie a experimentovanie

SiC dummy doštičky sú nevyhnutné v rôznych fázach výroby polovodičov a poskytujú bezpečný a spoľahlivý prostriedok na testovanie a experimentovanie. Sú kritické na začiatku výrobného procesu a zabezpečujú, že všetky parametre sú optimálne pred použitím cenných výrobných plátkov.

Ochrana v difúznych procesoch

V difúznych procesoch zohrávajú SiC dummy doštičky kľúčovú úlohu tým, že chránia štandardné kremíkové doštičky. Táto ochranná funkcia zabraňuje poškodeniu a kontaminácii, čím sa zachováva integrita a kvalita primárnych plátkov.

Presnosť v meraní

Tieto doštičky sa starostlivo používajú na meranie hrúbky filmu, odolnosti voči tlaku a indexu odrazu. Sú tiež nápomocné pri zisťovaní prítomnosti pinballu a hodnotení veľkostí vzorov v litografii, čím významne prispievajú k presnosti procesu a redukcii defektov.

Výhody SiC Dummy Wafer

Odolnosť voči plynom pri vysokej teplote

SiC dummy doštičky vykazujú pozoruhodnú odolnosť voči vysokoteplotným plynom, vďaka čomu sú vhodné do extrémnych podmienok. Táto odolnosť zaisťuje konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach.

Chemická stabilita

Chemická stabilita SiC Dummy Wafers im umožňuje odolávať rôznym korozívnym látkam bez degradácie. Táto vlastnosť je nevyhnutná na udržanie integrity plátku počas vystavenia chemikáliám.

Povrch bez častíc

Vďaka ľahko čistiteľnému povrchu minimalizujú SiC dummy doštičky problémy s časticami, čo je životne dôležité pre udržanie prostredia bez kontaminácie. Táto vlastnosť podporuje vysokokvalitné výsledky a znižuje riziko defektov.

Dlhodobá štrukturálna integrita

SiC Dummy Wafers sú navrhnuté tak, aby odolávali ohýbaniu a deformácii v priebehu času. Ich odolnosť zaisťuje, že zostávajú spoľahlivé počas viacerých testovacích cyklov, čím sa znižuje potreba častých výmen.

Prispôsobiteľné funkcie

Semicorex ponúka užívateľom definovanú serializáciu na každom SiC Dummy Wafer, čo umožňuje prispôsobenie veľkosti a hrúbky. Vlastné laserové gravírovanie ďalej eliminuje riziká krížovej kontaminácie a zabezpečuje vysoký stupeň čistoty a spoľahlivosti.

Aplikácie v rôznych odvetviach

Výroba polovodičov

SiC dummy doštičky sú nevyhnutné pri výrobe polovodičov, najmä počas počiatočných fáz výroby. Slúžia ako ochranná bariéra, ktorá chráni kremíkové doštičky pred možným poškodením a zabezpečuje presnosť procesu.

Zabezpečenie a testovanie kvality

Pri zabezpečovaní kvality sú SiC dummy oblátky kľúčové pre kontroly dodávok a vyhodnocovanie procesných formulárov. Umožňujú presné meranie parametrov, ako je hrúbka filmu, tlaková odolnosť a index odrazu, čím prispievajú k validácii výrobných procesov.

Litografia a overovanie vzorov

V litografii tieto doštičky slúžia ako meradlo na meranie veľkosti vzoru a kontrolu defektov. Ich presnosť a spoľahlivosť pomáha dosiahnuť požadovanú geometrickú presnosť, ktorá je rozhodujúca pre funkčnosť polovodičových zariadení.

Výskum a vývoj

V prostrediach výskumu a vývoja podporuje flexibilita a odolnosť SiC dummy doštičiek rozsiahle experimentovanie. Ich schopnosť vydržať prísne testovacie podmienky ich robí neoceniteľnými pri vývoji nových polovodičových technológií.