Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Konzolová lopatka Semicorex SiC (karbid kremíka) je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych peciach alebo peciach LPCVD (nízkotlakové nanášanie chemických pár) počas procesov ako difúzia a RTP (Rapid Thermal Processing). Konzolová lopatka SiC má bezpečne niesť polovodičové doštičky v procesnej trubici počas rôznych vysokoteplotných procesov, ako je difúzia a RTP. Slúži na podopieranie a prepravu plátkov v procesnej rúre týchto pecí. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Vertical Wafer Boat predstavuje kľúčový komponent v rámci spracovania polovodičov, navrhnutý na bezpečné uloženie a prepravu jemných kremíkových plátkov v rôznych fázach výroby. Vyrobené z karbidu kremíka (SiC), robustného a tepelne stabilného materiálu známeho svojimi výnimočnými vlastnosťami v drsnom prostredí, tieto člny zaisťujú integritu a bezpečnosť doštičiek počas spracovania. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Wafer Transfer Hand predstavuje základný kameň automatizácie v rámci procesu výroby polovodičov a slúži ako sofistikovaný robotický nástroj na presnú a efektívnu manipuláciu s polovodičovými doštičkami. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Finger predstavuje kľúčový komponent v rámci spracovania polovodičov, pracuje ako nástroj na prenos doštičiek. Toto špecializované zariadenie v tvare prsta je starostlivo vyrobené z karbidu kremíka (SiC), materiálu známeho pre svoju výnimočnú mechanickú pevnosť, tepelnú stabilitu a odolnosť voči drsnému chemickému prostrediu. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Carbide Process Tube je kľúčovým komponentom v oblasti výroby polovodičov, špeciálne navrhnutý na použitie vo vertikálnych peciach používaných v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Robot Hand, kľúčový komponent v peci na organické chemické nanášanie z plynnej fázy (MOCVD), je dôkazom presného inžinierstva a pokročilej materiálovej vedy. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt