Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex Alumina Fastener je neoddeliteľnou súčasťou konštrukcie zariadení používaných pri chemickom nanášaní pár (CVD), iónovej implantácii, fotolitografii a výrobe polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytHriadeľ čerpadla Semicorex SiC vyniká svojim jedinečným výkonom a spoľahlivosťou ako integrálna súčasť magnetických čerpadiel, štítových čerpadiel, viacstupňových čerpadiel, hydraulických čerpadiel, chemických čerpadiel a odstrediviek.
Čítaj viacOdoslať dopytKeramický téglik AlN Ceramic Crucible od spoločnosti Semicorex, navrhnutý tak, aby odolal extrémnym podmienkam, je nepostrádateľným nástrojom pre profesionálov pracujúcich s neželeznými kovmi a polovodičovými materiálmi, ako je arzenid gália.
Čítaj viacOdoslať dopytAlumina Boat od Semicorex nachádza svoje miesto v polovodičovom priemysle, všeobecných strojoch a vysokoteplotných procesoch, čo sa ukazuje ako nevyhnutné pre profesionálov, ktorí hľadajú spoľahlivosť a presnosť.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC keramická doska ponúka bezkonkurenčný výkon v prostrediach vyžadujúcich odolnosť proti opotrebeniu, odolnosť proti korózii a stabilitu pri vysokých teplotách. Tento produkt je navrhnutý na použitie ako obkladové dosky a podporné diely v rôznych náročných aplikáciách.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex AlN Ceramic Disc vyniká ako materiál s výnimočnou schopnosťou, cenený pre svoju jedinečnú kombináciu tepelných, mechanických a elektrických vlastností. V Semicorex sme v popredí výroby AlN keramických diskov, čím zabezpečujeme, že tieto komponenty spĺňajú prísne požiadavky moderných technológií a priemyselných aplikácií.**
Čítaj viacOdoslať dopyt