SiC povlak je tenká vrstva na susceptore prostredníctvom procesu chemického nanášania pár (CVD). Materiál z karbidu kremíka poskytuje oproti kremíku množstvo výhod, vrátane 10-násobku intenzity elektrického poľa pri prieraze, 3-násobku šírky pásma, čo poskytuje materiálu odolnosť voči vysokej teplote a chemikáliám, vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú vodivosť.
Semicorex poskytuje prispôsobené služby, pomáha vám inovovať komponenty, ktoré vydržia dlhšie, skracujú časy cyklov a zlepšujú výnosy.
SiC povlak má niekoľko jedinečných výhod
Odolnosť voči vysokej teplote: Susceptor potiahnutý CVD SiC môže odolať vysokým teplotám až do 1600 °C bez výraznej tepelnej degradácie.
Chemická odolnosť: Povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu odolnosť voči širokému spektru chemikálií, vrátane kyselín, zásad a organických rozpúšťadiel.
Odolnosť proti opotrebovaniu: Povlak SiC poskytuje materiálu vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré zahŕňajú vysoké opotrebovanie.
Tepelná vodivosť: Povlak CVD SiC poskytuje materiálu vysokú tepelnú vodivosť, vďaka čomu je vhodný na použitie vo vysokoteplotných aplikáciách, ktoré vyžadujú efektívny prenos tepla.
Vysoká pevnosť a tuhosť: Susceptor potiahnutý karbidom kremíka poskytuje materiálu vysokú pevnosť a tuhosť, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie, ktoré vyžadujú vysokú mechanickú pevnosť.
SiC povlak sa používa v rôznych aplikáciách
Výroba LED: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa pri výrobe rôznych typov LED, vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED, vďaka svojej vysokej tepelnej vodivosti a chemickej odolnosti.
Mobilná komunikácia: CVD SiC potiahnutý susceptor je kľúčovou súčasťou HEMT na dokončenie epitaxného procesu GaN-on-SiC.
Spracovanie polovodičov: Susceptor potiahnutý CVD SiC sa používa v polovodičovom priemysle na rôzne aplikácie vrátane spracovania plátkov a epitaxného rastu.
Grafitové komponenty potiahnuté SiC
Vyrobené z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), povlak sa nanáša metódou CVD na špecifické druhy grafitu s vysokou hustotou, takže môže pracovať vo vysokoteplotnej peci s viac ako 3000 °C v inertnej atmosfére, 2200 °C vo vákuu .
Špeciálne vlastnosti a nízka hmotnosť materiálu umožňujú vysokú rýchlosť ohrevu, rovnomerné rozloženie teploty a vynikajúcu presnosť ovládania.
Materiálové údaje Semicorex SiC Coating
Typické vlastnosti |
Jednotky |
hodnoty |
Štruktúra |
|
FCC β fáza |
Orientácia |
zlomok (%) |
111 preferovaný |
Objemová hmotnosť |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Tepelná rozťažnosť 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃) |
430 |
Veľkosť zrna |
μm |
2~10 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
Záver CVD SiC potiahnutý susceptor je kompozitný materiál, ktorý kombinuje vlastnosti susceptora a karbidu kremíka. Tento materiál má jedinečné vlastnosti, vrátane vysokej teploty a chemickej odolnosti, vynikajúcej odolnosti proti opotrebovaniu, vysokej tepelnej vodivosti a vysokej pevnosti a tuhosti. Tieto vlastnosti z neho robia atraktívny materiál pre rôzne vysokoteplotné aplikácie, vrátane spracovania polovodičov, chemického spracovania, tepelného spracovania, výroby solárnych článkov a výroby LED.
V Semicorex sme navrhli PSS etching Carrier Tray pre LED špeciálne pre drsné prostredie potrebné pre epitaxný rast a procesy manipulácie s plátkami. Náš ultračistý grafitový nosič je ideálny pre fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je MOCVD, epitaxné susceptory, palacinkové alebo satelitné platformy a spracovanie doštičiek, ako je leptanie. Nosič potiahnutý SiC má vysokú odolnosť voči teplu a korózii, vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla a vysokú tepelnú vodivosť. Náš PSS leptací nosič pre LED je cenovo výhodný a ponúka dobrú cenovú výhodu. Obstarávame mnohé európske a americké trhy a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex PSS etching Carrier Plate for Semiconductor je špeciálne navrhnutá pre vysokoteplotné a drsné chemické čistiace prostredia potrebné pre epitaxný rast a procesy manipulácie s plátkami. Naša ultra čistá PSS leptacia nosná doska pre polovodiče je navrhnutá tak, aby podporovala doštičky počas fáz nanášania tenkých vrstiev, ako sú MOCVD a epitaxné susceptory, placky alebo satelitné platformy. Náš nosič potiahnutý SiC má vysokú odolnosť voči teplu a korózii, vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla a vysokú tepelnú vodivosť. Našim zákazníkom poskytujeme cenovo výhodné riešenia a naše produkty pokrývajú mnohé európske a americké trhy. Semicorex sa teší, že bude vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytNosiče plátkov používané pri epixiálnom raste a spracovaní plátkov musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier navrhnutý špeciálne pre tieto náročné aplikácie epitaxných zariadení. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Coated Barrel Susceptor pre LPE epitaxný rast je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon po dlhšiu dobu. Jeho rovnomerný tepelný profil, laminárny profil prúdenia plynu a zabránenie kontaminácii z neho robia ideálnu voľbu pre rast vysokokvalitných epitaxných vrstiev na doštičkových čipoch. Jeho prispôsobiteľnosť a nákladová efektívnosť z neho robia vysoko konkurencieschopný produkt na trhu.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Barrel Susceptor Epi System je vysoko kvalitný produkt, ktorý ponúka vynikajúcu priľnavosť povlaku, vysokú čistotu a odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote. Jeho rovnomerný tepelný profil, laminárny profil prúdenia plynu a zabránenie kontaminácii z neho robia ideálnu voľbu pre rast epixiálnych vrstiev na doštičkových čipoch. Jeho nákladová efektívnosť a prispôsobiteľnosť z neho robia vysoko konkurencieschopný produkt na trhu.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reactor System je inovatívny produkt, ktorý ponúka vynikajúci tepelný výkon, rovnomerný tepelný profil a vynikajúcu priľnavosť povlaku. Jeho vysoká čistota, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote a odolnosť proti korózii z neho robia ideálnu voľbu pre použitie v polovodičovom priemysle. Jeho prispôsobiteľné možnosti a nákladová efektívnosť z neho robia vysoko konkurencieschopný produkt na trhu.
Čítaj viacOdoslať dopyt