Komponent ICP potiahnutý SiC od spoločnosti Semicorex je navrhnutý špeciálne pre procesy manipulácie s plátkami pri vysokej teplote, ako je epitaxia a MOCVD. S jemným povlakom z kryštálov SiC poskytujú naše nosiče vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť a trvácnu chemickú odolnosť.
Komponent ICP s povlakom SiC od spoločnosti Semicorex je najlepšou voľbou pre procesy manipulácie s plátkami, ktoré vyžadujú odolnosť voči vysokej teplote a chemikáliám. Naše nosiče poskytujú rovnomerné tepelné profily, vzory laminárneho prúdenia plynu a zabraňujú kontaminácii alebo difúzii nečistôt vďaka nášmu jemnému kryštálu SiC. S jemným povlakom z kryštálov SiC poskytujú naše nosiče vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť a trvácnu chemickú odolnosť.
V Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných a cenovo výhodných produktov našim zákazníkom. Náš komponent ICP s povlakom SiC má cenovú výhodu a vyváža sa na mnohé európske a americké trhy. Naším cieľom je byť vaším dlhodobým partnerom, ktorý poskytuje produkty konzistentnej kvality a výnimočné služby zákazníkom.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom komponente ICP potiahnutom SiC.
Parametre komponentu ICP s povlakom SiC
Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Kryštálová štruktúra |
FCC β fáza |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Veľkosť zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃) |
430 |
Tepelná expanzia (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
Vlastnosti komponentu ICP s povlakom SiC
- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt