TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex MOCVD Susceptor s povlakom TaC je špičkový komponent starostlivo vytvorený pre optimálny výkon v procesoch epitaxe polovodičov v systémoch MOCVD. Semicorex je neochvejný v našom záväzku dodávať špičkové produkty za vysoko konkurenčné ceny. Tešíme sa na nadviazanie trvalého partnerstva s vami v Číne.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex CVD TaC Coated Ring vládne ako kritický komponent pri spracovaní polovodičov, symbolizujúci zenit moderného materiálového inžinierstva. Tento prsteň, vytvorený na implementáciu v najprísnejších prostrediach, kde dominuje presnosť a spoľahlivosť, stelesňuje spojenie špičkových techník povrchovej úpravy s vedou o odolných materiáloch. Semicorex vytrvalo dodáva špičkové produkty za konkurencieschopné ceny a netrpezlivo očakávame nadviazanie dlhodobého partnerstva s vami v Číne.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý na použitie v epitaxných procesoch výroby polovodičov. Semicorex je odhodlaný dodávať produkty najvyššej kvality za konkurencieschopné ceny. Tešíme sa na nadviazanie dlhodobého partnerstva s vami v Číne.*
Čítaj viacOdoslať dopytVodiaci krúžok Semicorex Tantalum Carbide Coating Ring je pokročilý komponent špeciálne navrhnutý pre polovodičový priemysel, ktorý hrá kľúčovú úlohu pri raste kryštálov karbidu kremíka (SiC). Tento produkt je navrhnutý tak, aby spĺňal prísne požiadavky vysokoteplotných a vysokonapäťových prostredí, ktoré sú vlastné procesom rastu polovodičových kryštálov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Coating Graphite Crucible je špecializovaný komponent navrhnutý na použitie v polovodičovom priemysle, najmä pri raste kryštálov karbidu kremíka (SiC). Tento vysokovýkonný téglik vyniká jedinečným materiálovým zložením a konštrukčným dizajnom, čo z neho robí nenahraditeľný nástroj v pokročilých procesoch rastu kryštálov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Crucible je kľúčový komponent v polovodičovom priemysle, špeciálne navrhnutý na rast kryštálov karbidu kremíka (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopyt