TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex Tantalum Carbide Chuck je pokročilý komponent používaný v zariadeniach na výrobu polovodičov, známy svojimi výnimočnými tepelnými a mechanickými vlastnosťami. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Ring predstavuje kritický komponent, ktorý spĺňa tieto náročné požiadavky. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSprchová hlavica s povrchovou úpravou Semicorex TaC je neoddeliteľnou súčasťou procesu chemického nanášania pár a poskytuje bezkonkurenčný výkon a dlhú životnosť. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSkľučovadlo s povlakom Semicorex TaC predstavuje významný pokrok v oblasti výroby polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex porézny grafit s povlakom TaC je špecializovaný materiál navrhnutý na riešenie kritických problémov pri raste kryštálov karbidu kremíka (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytPorézny grafit potiahnutý karbidom tantalu Semicorex je najnovšou inováciou v technológii rastu kryštálov karbidu kremíka (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopyt