TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck je vysoko výkonný komponent navrhnutý pre presnú manipuláciu s plátkami a vysokoteplotné procesy pri výrobe polovodičov. Vyberte si Semicorex pre jeho inovatívne, odolné produkty, ktoré zaisťujú optimálny výkon a dlhú životnosť v náročných polovodičových aplikáciách.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC krúžok je vysoko výkonný komponent navrhnutý pre rast monokryštálov SiC, ktorý zaisťuje optimálnu distribúciu prietoku plynu a kontrolu teploty. Vyberte si Semicorex pre naše odborné znalosti v oblasti pokročilých materiálov a presného inžinierstva, ktoré poskytujú odolné a spoľahlivé riešenia, ktoré zvyšujú efektivitu a kvalitu vašich polovodičových procesov.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Part je grafitový komponent potiahnutý TaC určený na vysokovýkonné použitie v aplikáciách rastu kryštálov karbidu kremíka (SiC), ktorý ponúka vynikajúcu teplotnú a chemickú odolnosť. Vyberte si Semicorex pre spoľahlivé, vysokokvalitné komponenty, ktoré zvyšujú kvalitu kryštálov a efektivitu výroby pri výrobe polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopytKrúžky z karbidu tantalu Semicorex sú kritické komponenty používané v pokročilých procesoch výroby polovodičov. V Semicorex, známi svojou výnimočnou tvrdosťou, vysokým bodom topenia a chemickou inertnosťou, sme odhodlaní dodávať produkty, ktoré spĺňajú najvyššie štandardy kvality a výkonu, čím zaisťujeme, že naši klienti zostanú v popredí inovácií v polovodičovom priemysle.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor je grafitová tácka potiahnutá karbidom tantalu, ktorá sa používa pri epitaxnom raste karbidu kremíka na zlepšenie kvality a výkonu plátku. Vyberte si Semicorex pre jeho pokročilú technológiu povrchovej úpravy a odolné riešenia, ktoré zaisťujú vynikajúce výsledky epitaxie SiC a predĺženú životnosť susceptora.*
Čítaj viacOdoslať dopytVodiace krúžky povlaku TaC sú grafitové krúžky s povlakom z karbidu tantalu, navrhnuté na použitie v peciach na rast kryštálov karbidu kremíka na zvýšenie kvality kryštálov. Vyberte si Semicorex pre jeho pokročilú technológiu povrchovej úpravy, ktorá zaisťuje vynikajúcu odolnosť, tepelnú stabilitu a optimalizovaný rast kryštálov.*
Čítaj viacOdoslať dopyt