Al2o3 vákuum skľučovky

SemiCorex Al₂o₃ vákuové skľučovky sú presné mikroporézne keramické zložky vyvinuté pre aplikácie na manipuláciu, fixáciu a spracovanie v polovodičoch. Vyrobené z čierneho hlinitého s kontrolovanou pórovitosťou 35%-40%, je to mimoriadne stabilné, čisté a spoľahlivé médium pre procesy adsorpcie vákua. Chuck kombinuje keramické spracovanie substrátu na funkčný povrch pomocou pokročilých výrobných techník na zabezpečenie konzistentného sacieho výkonu pre krehké oblátky používateľa počas kritických krokov.

ČiernyAlumina (al₂o₃); Má jedinečnú rovnováhu mechanickej pevnosti, tvrdosti a chemického odporu v porovnaní s kovmi a polymérom. Mikroporózna štruktúra je optimalizovaná na kontrolovanú pórovitosť, aby poskytla konzistentné vákuové rozdelenie na povrchu vákuového skľučenia. Dôsledné distribúcia vákua v celej ploche povrchu oblátky minimalizuje lokalizované koncentrácie napätia, čím sa obmedzuje riziko skreslenia doštičiek, štiepania okrajov a rozbitia. Keďže výroba oblátky sa naďalej rozširuje v priemere a geometrie a zariadenia sa stávajú krehkejšími, procesom výnosu a zlepšenej spoľahlivosti manipulácie s oblátkami sa stávajú kritickými požiadavkami.

Kontrolovaná pórovitosť 35–40% predstavuje kľúčovú charakteristiku tohto vákuového skľučenia. Optimalizovaná sieť pórov môže minimalizovať turbulencie počas evakuácie vzduchu z oblasti pórov a udržiavať držiteľskú silu pri zachovaní mechanickej pevnosti a trvanlivosti. Naproti tomu mechanické svorky používajú platne, ktoré spôsobujú lokalizované body stresu a pracujú proti mechanickým vlastnostiam jednotlivých oblátok. Povrch mikroporézneho hlinitého je preto počas mechanických prístupov lepší v obáreniach. To vedie k dokonalému kandidátovi na high-tech polovodičové procesy, ktoré majú úžitok z plochosti a hladkého pozastavenia, vrátane litografie, leptania, depozície a metrológie.

Z tepelného hľadiska má čierny materiál na hliník vynikajúcu túto schopnosť udržiavať rozmerovú stabilitu počas zvýšenej teploty. S nízkym koeficientom tepelnej expanzie je vákuový skľučovadlá schopný zostať presný aj počas zahrievajúcich a chladiacich cyklov, čo je kritickým aspektom v dôsledku rýchleho kolísania teploty, ktorá sa často vyskytuje v prostrediach spracovania doštičiek. Tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu tejto keramiky tiež zvyšujú dlhovekosť skľučenia, znižuje frekvenciu údržby prevádzkovateľov zariadení a znižuje celkové náklady na vlastníctvo.

Chemická inerta hlinitého keramiky je ďalšou podstatnou vlastnosťou. V polovodičových Fabs musia komponenty zariadenia tolerovať agresívne chemikálie, čistiace prostriedky alebo plazmové prostredie bez zhoršenia. Čierny alumina má vynikajúce vlastnosti na odolávanie korózii, oxidácie a/alebo povrchovej kontaminácie, a tým si zachováva štruktúru a štrukturálnu/fázovú stabilitu počas excitovaných období prevádzkového cyklu. Táto vlastnosť zavedená tiež znamená, že doštičky nie sú vystavené kontaminácii, ktorá chráni obvod pred tým, ako tieto zariadenia fungujú, a tiež dôveruje protokolom čistých miestností.

Vákuové skľučovky nielen vykazujú vynikajúci funkčný výkon, ale povrchová povrchová úprava je tiež pevne riadená. Dokončenie sa vytvára pomocou vysoko presných obrábaní a leštiacich procesov, ktoré poskytujú rovnomernú rovinnosť a plynulosť, takže jemné doštičky sa môžu udržiavať bez škrabancov alebo poškodenia povrchu. Vysoko skonštruovaná pórovitosť materiálu poskytuje vhodnú rovnováhu medzi saním a ochranou povrchu, ktorá umožňuje primeranú držanie sily na oblátku, pričom sa vyhýba akémukoľvek poškodeniu tenkých, krehkých substrátov.

Z prevádzkového hľadiska sú vákuové skľučovanie al₂o₃ kritickou súčasťou súčasnej výroby polovodičov. Uľahčuje automatizáciu a umožňuje vyzdvihnutie, umiestnenie, umiestnenie a spracovanie doštičiek, ktoré spoľahlivo spĺňa požiadavky na proces. Čierna farba hlinitého tiež pomáha a poskytuje pragmatické výhody znížením odrazu svetla počas optických inšpekcií a procesov merania, najmä ak sa používa vysoko presné optické vybavenie.

Kombinácia pokročilých keramických technológií s dobre zameraným dizajnom priniesla v al₂o₃ vákuových skľučovadlách, dlhotrvajúce vysoko výkonné riešenie pre výzvy na manipuláciu s oblátkami výrobcov polovodičov. Al₂o₃ vákuum Chucks zlepšuje produktivitu zníženou stratou doštičiek, znižuje prestoje v dôsledku trvanlivosti a zvyšuje stabilitu procesu poskytovaním konzistentnej vákuovej držby.

Semicorex al₂o₃ vákuové skľučovky vyrobené z mikroporéznej čiernejaluminaje viac ako len príslušenstvo; Je to kritický aktivátor precíznej výroby polovodičov. Vďaka svojej optimalizovanej pórovitosti, výnimočných vlastnostiach materiálu a robustným výkonom zaisťuje spoľahlivú manipuláciu s oblátkami v najnáročnejších výrobných procesoch. Pre výrobcov, ktorí sa snažia dosiahnuť vyšší výnos, zlepšenú účinnosť procesu a vynikajúci výkon zariadenia, je vákuum čierneho hlinitého Chucka nevyhnutnou voľbou.