Prispôsobené porézne keramické skľučovadlo je vynikajúce riešenie upínania a upevnenia obrobku určené výhradne pre výrobu polovodičov. Výber Semicorex znamená, že budete ťažiť zo spoľahlivej kvality, služieb prispôsobenia a zvýšenej produktivity.
Prispôsobenéporézne keramické skľučovadlopozostáva zo základne a poréznej keramickej dosky. Napojením na vákuový systém je nízkotlakové prostredie vytvorené evakuáciou vzduchu medzi plátkom a keramikou. Pod vákuovým podtlakom je plátok pevne prilepený k povrchu skľučovadla, čím sa nakoniec dosiahne bezpečné a stabilné upevnenie a umiestnenie.
Semicorex dôsledne uprednostňuje základné potreby našich vážených zákazníkov a zároveň poskytuje luxusné a personalizované služby. Ponúkame rozmanitý výber možností, ktoré zaisťujú, že finálne prispôsobené porézne keramické skľučovadlá sa bez problémov prispôsobia obrobkom rôznych tvarov a veľkostí, čím sa efektívne zvýši prevádzková efektivita zariadenia a stabilita výroby.
špecifikácie:
|
Veľkosť |
4-palcový/6-palcový/8-palcový/12-palcový |
|
Plochosť |
2μm/2μm/3μm/3μm alebo viac |
|
Materiál poréznej keramickej dosky |
Oxid hlinitý a karbid kremíka |
|
Veľkosť pórov poréznej keramiky |
5-50 μm |
|
Pórovitosť poréznej keramiky |
35 % – 50 % |
|
Antistatická funkcia |
Voliteľné |
|
Základný materiál |
Nerezová oceľ, hliníková zliatina a keramika (karbid kremíka) |
Presne opracované prispôsobené porézne keramické skľučovadlo ponúka rovnomerné rozloženie adsorpčnej sily po povrchu obrobku, čím účinne zabraňuje deformácii obrobku alebo nepresnostiam obrábania spôsobeným nerovnomerným pôsobením sily. Navyše, vďaka svojej silnej chemickej odolnosti proti korózii a mimoriadnej odolnosti voči vysokým teplotám, prispôsobené porézne keramické skľučovadlo udržuje stabilnú dlhodobú prevádzku v náročných a zložitých výrobných prostrediach.
Scenáre aplikácie:
1. Výroba polovodičov: Spracovanie plátkov, ako je riedenie plátkov, krájanie, brúsenie, leštenie; proces chemického nanášania pár (CVD) a fyzikálneho nanášania pár (PVD); implantácia iónov.
2. Výroba fotovoltaických článkov: Procesy rezania, poťahovania a balenia kremíkových plátkov vo fotovoltaických článkoch.
3. Presné obrábanie: Upínanie a upevňovanie tenkých, krehkých alebo vysoko presných obrobkov.