Skľučovadlá z karbidu kremíka Semicorex sú špeciálne navrhnuté pre fotolitografické zariadenia a majú viacero výhod, ako je vysoká presnosť, ultra nízka hmotnosť, vysoká tuhosť, nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu.
Semicorexskľučovadlá z karbidu kremíka1.Vysoká presnosť: rovinnosť je 0,3-0,5μm.karbid kremíka(SiC) keramický materiál. Používajú sa hlavne v polovodičoch, fotovoltaike, presnej výrobe a iných scenároch, ktoré majú extrémne vysoké požiadavky na odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti opotrebovaniu, chemickú koróziu a čistotu materiálov.
(SiC) keramický materiál. Používajú sa hlavne v polovodičoch, fotovoltaike, presnej výrobe a iných scenároch, ktoré majú extrémne vysoké požiadavky na odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti opotrebovaniu, chemickú koróziu a čistotu materiálov.
Typické vlastnosti skľučovadiel z karbidu kremíka Semicorex
1.Vysoká presnosť: rovinnosť je 0,3-0,5μm.
2.Leštenie zrkadiel
3. Ultra nízka hmotnosť
4.Vysoká tuhosť
5. Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
6.Vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu
Aplikačné scenáre skľučovadiel z karbidu kremíka
Výroba polovodičov
Prenos a spracovanie plátku: Pri procesoch, ako je fotolitografia a leptanie, musí byť plátok stabilne adsorbovaný vo vákuovom prostredí, aby sa predišlo chybám pri premiestňovaní.
Odolnosť proti korózii plazmy: V procese leptania polovodičov môže vynikajúca odolnosť proti korózii predĺžiť životnosť produktu.
Výroba fotovoltaických článkov
Rezanie kremíkových plátkov: Adsorbuje kremíkové plátky, aby odolali rezným vibráciám a znížili rýchlosť fragmentácie kremíkových plátkov.
Výroba presnej optiky a elektroniky
Spracovanie zafírového substrátu: Zafírové substráty používané pri výrobe LED čipov vyžadujú vákuovú adsorpciu. Adsorpčná sila musí prekonať hmotnosť podkladu a zabrániť poškriabaniu povrchu produktu.
Skľučovadlá z karbidu kremíka sa stali kľúčovým spotrebným materiálom v oblasti špičkovej výroby vďaka svojmu vynikajúcemu výkonu, ktorý podporuje technologický pokrok v odvetviach, ako sú polovodiče, fotovoltaika a recizná výroba.