Pórovité hlinité skľučovky

Semicorex Pórovité hlinité hlinité skľučovky sú účelové pre najjemnejšie doštičky. Ich pórovitá dizajn poskytuje zabezpečenie konzistentného vákuového rozloženia na povrchu skľučovania, čo zaisťuje znížené lokalizované stresy a pomáha pri prevencii štiepania a rozbitia okrajov. Mechanické upínanie (pevné alebo inak) nie je také účinné ako mikroporózna sieť, ktorá drží dokonca aj jemné doštičky bez nadmerného obmedzujúceho mechanického napätia a zároveň bezpečne fixuje oblátku, pretože mikroporózna štruktúra zabraňuje opotrebeniu a poskytuje jemné držanie. Potreba rovnomernej adsorpcie na celom povrchu skľučenia je obzvlášť kritická pre väčšie a tenšie, ktoré môžu tolerovať oveľa menší stres počas automatizovanej manipulácie a pri vykonávaní vysoko presných krokov spracovania.

Optimalizovaný pre 35-40% pórovitosť, Chuck vyvíja sieť vzájomne spojených pórov, ktoré slúžia na evakuáciu vzduchu a zároveň poskytujú dostatočnú mechanickú pevnosť na udržanie oblátky proti procesným silám. To znamená, že vákuová držanie sily zostáva stabilná pri pohybe doštičiek, dokonca aj v rýchlom slede, pričom vykonáva komplexnú postupnosť procesu. Adsorpcia v mikroporéznej sieti poskytuje väčšiu stabilitu ako jednoduchým vytváraním rozdielov v tlaku vo vákuovom systéme.

Čierny hliník (al₂o₃), sám je konečným materiálom, pretože je tvrdý, odolný voči opotrebeniu a chemicky inertný. Nebude degradovať žiadny značný povrch a nie je ovplyvnený opakovanými cyklami oblátky (adsorpcia/ chladenie umiestnenia/ vákua). Čiernaaluminaje rozmerne stabilný, preto sa nezmení napriek zmenám teploty, ktoré sa vyskytujú prirodzene počas procesu (vykurovanie a chladenie) alebo v prostredí.

Chemická rezistencia je ďalšou kľúčovou výhodou čierneho hlinitého. Chuck môže pracovať v agresívnom čistení, plazme a leptovnom prostredí bez toho, aby ohrozil jeho štrukturálnu integritu. Jeho inertnosť zabraňuje kontaminácii povrchu oblátky, čím zabezpečuje vysokú čistotu procesu a dodržiavanie štandardov čistenia.

Mikroporézna štruktúra tiež ponúka podporný povrch, ktorý zmierňuje koncentráciu stresu na tenké a krehké doštičky. V tandeme s presnou povrchovou plochou a hladkou povrchovou povrchovou úpravou, pórovité hlinité skľučovky minimalizujú výskyt mikro-praskov a škrabancov, ktoré by mohli ohroziť integritu oblátky po ruke.

Alumina keramikaMá vynikajúcu tvrdosť, vysokú mechanickú pevnosť, nízky tepelný koeficient expanzie a vynikajúcu tepelnú stabilitu, vďaka čomu je praktickým materiálom pre presnú polovodičovú aplikáciu. Jeho chemická inertnosť tiež znamená, že dokáže vydržať kyseliny, alkalis a plazma, zatiaľ čo vlastnosti odolné voči opotrebeniu zaisťujú trvanlivosť, tieto výhody robia z hlinitého materiálu výberu mikroporéznych vákuových skľučov a poskytujú spoľahlivosť aj predvídateľnosť výkonnosti.

Záverom možno povedať, že porézne hlinitého hlinitého sú navrhnuté tak, aby dodávali jednotné a prežiteľné manipulácie s oblátkami. Jeho mikroporézna čierna hlinitová štruktúra ponúka dokonca aj vákuovú adsorpciu (uniformita) a zároveň minimalizuje mechanické napätie a zníženie poškodenia oblátkov. Ako skľučovadlo, podstatná a optimálna pórovitosť spolu s vynikajúcimi tepelnými, mechanickými a chemickými vlastnosťami pomáha optimalizovať bezpečnosť, hodnotu a spoľahlivosť prevádzky v tvrdých výrobných podmienkach. Vynikajúca kombinácia robustnej, jednotnej a bezpečnej manipulácie, ktorú pórovité hliníky môžu ponúknuť výrobcom, je jednoducho zriedkavá a jedinečná.