Sudový susceptor potiahnutý SiC pre epitaxný rast LPE

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pre LPE epitaxný rast je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon po dlhšiu dobu. Jeho rovnomerný tepelný profil, laminárny profil prúdenia plynu a zabránenie kontaminácii z neho robia ideálnu voľbu pre rast vysokokvalitných epitaxných vrstiev na doštičkových čipoch. Jeho prispôsobiteľnosť a nákladová efektívnosť z neho robia vysoko konkurencieschopný produkt na trhu.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Náš SiC potiahnutý sudový susceptor pre LPE epitaxný rast je vysoko kvalitný a spoľahlivý produkt, ktorý poskytuje vynikajúcu hodnotu za peniaze. Jeho odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, rovnomerný tepelný profil a zabránenie kontaminácii z neho robia ideálnu voľbu pre rast vysokokvalitných epitaxných vrstiev na doštičkových čipoch. Jeho nízke nároky na údržbu a prispôsobiteľnosť z neho robia vysoko konkurencieschopný produkt na trhu.

Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom sudovom susceptore potiahnutom SiC pre epitaxný rast LPE.

Parametre sudového susceptora potiahnutého SiC pre epitaxný rast LPE

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti sudového susceptora potiahnutého SiC pre epitaxný rast LPE

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.