CVD epitaxná depozícia v barelovom reaktore

Semicorex CVD Epitaxial Deposition In Barrel Reactor je vysoko odolný a spoľahlivý produkt na pestovanie epixálnych vrstiev na doštičkových čipoch. Jeho odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote a vysoká čistota ho predurčujú na použitie v polovodičovom priemysle. Jeho rovnomerný tepelný profil, laminárny profil prúdenia plynu a zabránenie kontaminácii z neho robia ideálnu voľbu pre vysoko kvalitný rast epixálnej vrstvy.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Naša CVD epitaxná depozícia v sudovom reaktore je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval spoľahlivý výkon v extrémnych prostrediach. Vďaka vynikajúcej priľnavosti povlaku, odolnosti voči oxidácii pri vysokej teplote a odolnosti voči korózii je vynikajúcou voľbou pre použitie v drsnom prostredí. Okrem toho jej rovnomerný tepelný profil, laminárny profil prúdenia plynu a prevencia kontaminácie zaisťujú vysokú kvalitu epixiálnej vrstvy.

V Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných a cenovo výhodných produktov našim zákazníkom. Naša CVD epitaxná depozícia v barelovom reaktore má cenovú výhodu a vyváža sa na mnohé európske a americké trhy. Naším cieľom je byť vaším dlhodobým partnerom, ktorý poskytuje produkty konzistentnej kvality a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre CVD epitaxnej depozície v barelovom reaktore

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti CVD epitaxnej depozície v barelovom reaktore

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.