Sudový susceptor pre epitaxiu v kvapalnej fáze

Ak potrebujete grafitový susceptor, ktorý dokáže spoľahlivo a konzistentne fungovať aj v tých najnáročnejších vysokoteplotných a korozívnych prostrediach, Semicorex Barrel Susceptor pre epitaxiu v tekutej fáze je dokonalou voľbou. Jeho povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu tepelnú vodivosť a distribúciu tepla, čím zaisťuje výnimočný výkon v aplikáciách výroby polovodičov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex Barrel Susceptor pre tekutú fázovú epitaxiu je tou správnou voľbou pre aplikácie výroby polovodičov, ktoré vyžadujú vysokú odolnosť voči teplu a korózii. Jeho vysoko čistý SiC povlak a výnimočná tepelná vodivosť poskytujú vynikajúcu ochranu a vlastnosti distribúcie tepla, čím zaisťujú spoľahlivý a konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach.

Náš hlavňový susceptor pre epitaxiu v kvapalnej fáze je navrhnutý tak, aby sa dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečila sa rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.

Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste sa dozvedeli viac o našom sudovom susceptore pre epitaxiu v kvapalnej fáze.

Parametre sudového susceptora pre epitaxiu v kvapalnej fáze

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti sudového susceptora pre epitaxiu v kvapalnej fáze

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.