Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ Susceptorov sudov potiahnutých SiC v Číne. Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.
SemicorexSudový susceptor potiahnutý SiCje grafitový nosič potiahnutý SiC s vysokou čistotou, ktorý sa v procese používa na rast epitaxnej vrstvy na doštičkovom čipe, ktorý je vhodný pre mnohé epitaxné reaktory. Má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
nášS povlakom SiCBarrel Susceptor je tiež odolný voči vysokoteplotnej oxidácii a korózii, čo z neho robí spoľahlivý a odolný produkt. Jeho vysoký bod topenia zaisťuje, že dokáže odolávať vysokoteplotnému prostrediu potrebnému na efektívnu výrobu polovodičov.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa o nás viacS povlakom SiCSudový prijímač
ParametreS povlakom SiCSudový prijímač
Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC |
||
Vlastnosti SiC-CVD |
||
Kryštálová štruktúra |
FCC β fáza |
|
Hustota |
g/cm³ |
3.21 |
Tvrdosť |
Tvrdosť podľa Vickersa |
2500 |
Veľkosť zrna |
μm |
2~10 |
Chemická čistota |
% |
99.99995 |
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
Teplota sublimácie |
℃ |
2700 |
Felexurálna sila |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃) |
430 |
Tepelná expanzia (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Tepelná vodivosť |
(W/mK) |
300 |
VlastnostiS povlakom SiCSudový prijímač
- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt